硼和轻掺磷的补掺方法及晶棒合并拉制、转晶向拉制方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115821366A(43)申请公布日2023.03.21(21)申请号202211585988.3(22)申请日2022.12.09(71)申请人宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司地址750000宁夏回族自治区银川市经济技术开发区光明西路28号(72)发明人虎永慧芮阳熊欢徐慶晧王黎光曹启刚张昆刘进蔡瑞王忠保(74)专利代理机构宁夏三源鑫知识产权代理事务所(普通合伙)64105专利代理师杜振学(51)Int.Cl.C30B15/04(2006.01)C30B15/20(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图3页(54)发明名称硼和轻掺磷的补掺方法及晶棒合并拉制、转晶向拉制方法(57)摘要一种硼和轻掺磷的补掺方法，包括以下步骤，根据A段晶棒电阻率计算首次投掺量，并以相同的方式计算B段晶棒需求的补掺量；首次投掺量在投料时熔于坩埚，补掺量留做备用，用于在补掺时使用；在完成A晶棒拉制后，手动引晶一定直径及长度，在向下给定一定拉速进行放肩；在放肩至一定直径后，以一定拉速引上至副室冷却一定时间后取出；通过副室操作取出，并把所需的补掺量放至肩上，再放入炉内与肩部一起熔化于坩埚内。本发明通过上述方法在晶棒合并拉制及转晶向拉制时，对硼和轻掺磷进行补掺，可保证拉制出的晶棒电阻率匹配、合格，从而降低产品不良率。本发明还提供一种晶棒合并拉制方法及一种转晶向拉制方法。CN115821366ACN115821366A权利要求书1/1页1.一种硼和轻掺磷的补掺方法，其特征在于：包括以下步骤，步骤:1：根据A段晶棒电阻率计算首次投掺量，并以相同的方式计算B段晶棒需求的补掺量；首次投掺量在投料时熔于坩埚，补掺量留做备用，用于在补掺时使用；步骤2：在完成A晶棒拉制后，手动引晶预定直径及长度，在向下给定预定拉速进行放肩；步骤3：在放肩至预定直径后，以预定拉速引上至副室冷却预定时间后取出；步骤4：通过副室操作取出，并把所需的补掺量放至肩上，再放入炉内与肩部一起熔化于坩埚内。2.根据权利要求1所述的硼和轻掺磷的补掺方法，其特征在于：在步骤2中，手动引晶直径10±2mm，长度80±10mm。3.根据权利要求2所述的硼和轻掺磷的补掺方法，其特征在于：在步骤2中，向下手动给定拉速0.5±0.2mm/min。4.根据权利要求1或3所述的硼和轻掺磷的补掺方法，其特征在于：在步骤3中，放肩直径放至150±5mm。5.根据权利要求4所述的硼和轻掺磷的补掺方法，其特征在于：在步骤3中，放肩完成后，直接以150mm/min拉速引上至副室冷却。6.根据权利要求5所述的硼和轻掺磷的补掺方法，其特征在于：在步骤3中，副室冷却时间为一小时。7.一种晶棒合并拉制方法，其特征在于：包括以下步骤，投料‑引晶‑放肩‑等径‑A棒收尾‑进行补掺‑引晶‑放肩‑等径‑B棒收尾；其中，进行补掺步骤采用权利要求1至6任意一项所述的硼和轻掺磷的补掺方法完成。8.一种晶棒转晶向拉制方法，其特征在于：包括以下步骤，投料‑引晶‑放肩‑等径（多次NG）‑更换籽晶‑进行补掺‑引晶‑放肩‑等径‑收尾；其中，进行补掺步骤采用权利要求1至6任意一项所述的硼和轻掺磷的补掺方法完成。2CN115821366A说明书1/3页硼和轻掺磷的补掺方法及晶棒合并拉制、转晶向拉制方法技术领域[0001]本发明涉及单晶硅技术领域，尤其涉及一种硼和轻掺磷的补掺方法及晶棒合并拉制、转晶向拉制方法。背景技术[0002]因硼和轻掺磷掺杂时都是在投料时直接放入坩埚内，在拉制过程中未设置专门加掺杂方式，因而当拉制两种尺寸合并或者改晶向时，面临电阻率不匹配问题，导致电阻率不合格报废或者影响交期。发明内容[0003]为解决上述技术中存在的技术问题，鉴于此，有必要提供一种硼和轻掺磷的补掺方法。[0004]一种硼和轻掺磷的补掺方法，包括以下步骤，步骤:1：根据A段晶棒电阻率计算首次投掺量，并以相同的方式计算B段晶棒需求的补掺量；首次投掺量在投料时熔于坩埚，补掺量留做备用，用于在补掺时使用；步骤2：在完成A晶棒拉制后，手动引晶预定直径及长度，在向下给定预定拉速进行放肩；步骤3：在放肩至预定直径后，以预定拉速引上至副室冷却预定时间后取出；步骤4：通过副室操作取出，并把所需的补掺量放至肩上，再放入炉内与肩部一起熔化于坩埚内。[0005]优选的，在步骤2中，手动引晶直径10±2mm，长度80±10mm。[0006]优选的，在步骤2中，向下手动给定拉速0.5±0.2mm/min。[0007]优选的，在步骤3中，放肩直径放至150±5mm。[0008]优选的，在步骤3中，放肩完成后，直接以150mm/min拉速引上至副室冷却。[0009]优选的，在步骤3中，副室冷却时间为一小时。