一种PECVD镀多晶硅用石墨舟的清洗方法.pdf
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一种PECVD镀多晶硅用石墨舟的清洗方法.pdf
本发明公开一种PECVD镀多晶硅用石墨舟的清洗方法。将待清洗石墨舟置于水汽氧化炉内,于200‑300℃条件下通入水蒸气至炉内压力为10‑20个大气压,阶梯式升温至1100‑1200℃,保温3‑5h,惰性气氛下降温,得预处理石墨舟;将预处理石墨舟浸入氢氟酸溶液中进行酸洗,鼓泡水洗;然后,采用去离子水对石墨舟进行喷淋,风干,升温干燥,得清洁石墨舟。本发明提供的清洗方法,通过水汽氧化使石墨舟表面沉积的多晶硅完全转化为氧化硅,后续利用氢氟酸单一溶液进行酸洗,就可完全去除石墨舟表面沉积的多晶硅,且整个清洗工艺简单,
PECVD石墨舟.pdf
一种延长PECVD炉用石墨舟使用寿命的方法.pdf
本发明公开了一种延长PECVD炉用石墨舟使用寿命的方法,包括如下步骤:上舟:将石墨舟上的螺母全部松开,然后将石墨舟置于酸槽中;鼓泡酸洗:采用浓硝酸,30-50℃;石墨舟一共浸泡2-3h,每1h设定鼓泡20-30min;鼓泡水洗:2-3h,每h换水一次,清洗时鼓泡不断;抽风烘干:温度130-150℃,抽风,烘干时间8-20h;2)烘干后的石墨舟浸于真空状态下的硅熔液中,缓慢提升石墨舟离开液面,至石墨舟表面冷却到1300摄氏度,时间为30min-180min;3)石墨舟在惰性气体保护下冷却至室温,取出。本发明
一种PECVD石墨舟载具的制造方法.pdf
本发明公开了一种PECVD石墨舟载具的制造方法,将浸渍浆料均匀涂覆在石墨舟半成品零件的表面上,放入具有保护气氛的反应炉中进行高温裂解反应,浸渍浆料在石墨舟半成品零件的表面上形成碳化硅膜层,得到石墨舟成品零件再组装成石墨舟。添加硅粉的聚碳硅烷浸渍浆料在石墨舟半成品零件的碳材料表面高温裂解,通过硅‑碳相互作用在碳材料表面原位生长形成一层碳化硅膜层,在疏松多孔的碳材料表面形成一层致密稳定的保护层,耐高温、氧化、冷热冲击,在石墨舟生产过程中能提高其使用寿命,减少石墨舟维护时间以及成本,降低企业生产成本。
一种石墨舟自动清洗装置及方法.pdf
本发明公开了一种石墨舟自动清洗装置,包括装置主体、置物电动伸缩杆、清洗电动伸缩杆、清洗管、顶盖和回流管,在所述装置主体内部上方两侧倾斜设置有清洗电动伸缩杆,且在清洗电动伸缩杆的伸缩端通过销轴转动连接有上支杆和下支杆,在上支杆和下支杆上均绑缚具有清洗喷头的清洗管,清洗管的一端伸出装置主体外部连通清洗液箱,并在装置主体外部的清洗管上安装有清洗泵,清洗液箱顶端连通有回流管,回流管的一端由装置主体底端通入,并在装置主体外部的回流管上安装有回流泵,在所述装置主体顶端面上固定焊接有固定支架,固定支架上竖直固定有置物电