一种石墨高导膜碳化炉.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115924904A(43)申请公布日2023.04.07(21)申请号202211607630.6(22)申请日2022.12.14(71)申请人安徽碳华新材料科技有限公司地址233000安徽省蚌埠市蚌山区经济开发区财院路10号中国（蚌埠）微电子科技园101＃(72)发明人杨云胜郭颗束国法蒋伟良陈玲陶勇(74)专利代理机构北京中仟知识产权代理事务所(普通合伙)11825专利代理师刘瑞连(51)Int.Cl.C01B32/205(2017.01)权利要求书1页说明书5页附图5页(54)发明名称一种石墨高导膜碳化炉(57)摘要本申请公开了应用于碳化炉领域的一种石墨高导膜碳化炉，通过动尾套和外散温环的设置，在碳化结束后进行降温时，控制电动推杆伸长，使动尾套逐渐远离炉体，此时部分内胆层裸露，失去保温层和外壳的阻隔，其可直接与外界接触，进而大幅度加快散热速度，另外，此时可通过进气口向外散温环内充入低温气体，低温气体朝向内胆层外溢出，可快速带走部分热量，相较于现有技术，可在不开盖的前提下，对部分内胆层进行裸露，在不影响内部高导膜质量的情况下，加快散热，降低对工作效率造成的影响。CN115924904ACN115924904A权利要求书1/1页1.一种石墨高导膜碳化炉，包括炉体(1)以及固定安装在炉体(1)下端的两对支架(2)，所述炉体(1)从内向外依次包括相互包覆的内胆层(11)、保温层(12)和保温层(12)，所述炉体(1)口部盖设有炉盖(3)，其特征在于，所述炉体(1)尾部滑动套设有动尾套(4)，所述炉体(1)中部固定连接有定位环(51)，所述定位环(51)与动尾套(4)之间固定连接有多个阵列分布的电动推杆(52)，且电动推杆(52)的伸缩端与动尾套(4)固定，所述炉体(1)外还套设有外散温环，所述外散温环与动尾套(4)超出炉体(1)外的端部连接，且外散温环位于多个阵列分布的电动推杆(52)内侧。2.根据权利要求1所述的一种石墨高导膜碳化炉，其特征在于，所述内胆层(11)朝向动尾套(4)的端部延伸至动尾套(4)内，所述保温层(12)和外壳(13)端部与动尾套(4)朝向炉盖(3)的端面相互平齐。3.根据权利要求1所述的一种石墨高导膜碳化炉，其特征在于，所述外散温环包括动套环(61)以及多个固定连接在动套环(61)靠近动尾套(4)一侧端面的散热条(62)，多个所述散热条(62)端部均与动尾套(4)连接，所述动套环(61)上固定连接有进气口(7)，所述进气口(7)与外界气源连通。4.根据权利要求3所述的一种石墨高导膜碳化炉，其特征在于，所述动套环(61)为空心环状结构，所述散热条(62)同样为空心结构，且散热条(62)朝向炉体(1)的端面开凿有多个均匀分布的出风口(8)，所述进气口(7)、动套环(61)、散热条(62)以及出风口(8)依次连通。5.根据权利要求4所述的一种石墨高导膜碳化炉，其特征在于，所述出风口(8)设置不少于两组，且最边缘的两组出风口(8)倾斜设置，且与竖直方向的夹角不大于45°，此时散热条(62)与动尾套(4)固定连接。6.根据权利要求4所述的一种石墨高导膜碳化炉，其特征在于，所述炉体(1)上开凿有多个条形槽(63)，多个所述条形槽(63)分别与多个散热条(62)相互匹配，多个所述散热条(62)同样为环形阵列分布，且散热条(62)的阵列半径小于电动推杆(52)阵列半径。7.根据权利要求6所述的一种石墨高导膜碳化炉，其特征在于，所述条形槽(63)深度小于保温层(12)和外壳(13)的总厚度，且散热条(62)随动尾套(4)从条形槽(63)上移出时，散热条(62)不与内胆层(11)相互接触，二者之间产生降温间隙。8.根据权利要求4所述的一种石墨高导膜碳化炉，其特征在于，所述出风口(8)设置多组，且多组所述出风口(8)均与动套环(61)侧面保持垂直，且散热条(62)内设有封孔组件，此时多个散热条(62)通过电动转环与动尾套(4)转动连接。9.根据权利要求8所述的一种石墨高导膜碳化炉，其特征在于，所述封孔组件包括固定镶嵌在散热条(62)内的电磁条(10)以及多个分别位于出风口(8)内的封孔杆，所述封孔杆包括位于出风口(8)内的堵口块(91)以及固定连接在堵口块(91)和散热条(62)内顶端之间的弹性伸缩杆(92)。10.根据权利要求9所述的一种石墨高导膜碳化炉，其特征在于，所述散热条(62)和堵口块(91)均为隔热材料制成，通电后所述电磁条(10)对堵口块(91)产生磁吸力。2CN115924904A说明书1/5页一种石墨高导膜碳化炉技术领域[0001]本申请涉及碳化炉领域，特别涉及一种石墨高导膜碳化炉。背景技术[0002]碳化炉由炉体、炉盖、感应器、熔炼坩埚、保温