一种石墨导热膜碳化炉真空过滤系统.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113694680A(43)申请公布日2021.11.26(21)申请号202111061973.2B01D53/04(2006.01)(22)申请日2021.09.10B01D5/00(2006.01)(71)申请人北京中石伟业科技无锡有限公司地址214000江苏省无锡市新吴区净慧东道199申请人北京中石伟业科技股份有限公司北京中石伟业科技宜兴有限公司无锡中石库洛杰科技有限公司(72)发明人陈曲陈佳男蒋剑朱勇吴晓宁朱光福(74)专利代理机构无锡市兴为专利代理事务所(特殊普通合伙)32517代理人屠志力(51)Int.Cl.B01D53/00(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图1页(54)发明名称一种石墨导热膜碳化炉真空过滤系统(57)摘要本发明属于石墨导热膜生产设备技术领域，具体涉及一种石墨导热膜碳化炉真空过滤系统。本发明的石墨导热膜碳化炉真空过滤系统，包括碳化炉、过滤组件和真空泵，所述碳化炉的出气口通过第一排气管道与过滤组件的进气口连接，所述过滤组件的出气口通过第四排气管道与真空泵连接；所述过滤组件包括依次设置的一级冷凝过滤器、二级吸附过滤器及三级吸附过滤器。本发明通过改变一级冷凝过滤器的冷凝管道排列，冷凝管道上翅片的排列密度和冷却进出水方式，增大二级吸附过滤器的有效面积，能够提高整个真空过滤系统的能力，保证系统真空度，避免废气对炉内产品的影响。CN113694680ACN113694680A权利要求书1/1页1.一种石墨导热膜碳化炉真空过滤系统，其特征在于，包括碳化炉（1）、过滤组件和真空泵（13），所述碳化炉（1）的出气口通过第一排气管道（2）与过滤组件的进气口连接，所述过滤组件的出气口通过第四排气管道（16）与真空泵连接；所述过滤组件包括依次设置的一级冷凝过滤器（3）、二级吸附过滤器（6）及三级吸附过滤器（11）。2.根据权利要求1所述的石墨导热膜碳化炉真空过滤系统，其特征在于，所述一级冷凝过滤器（3）的进气口与所述碳化炉（1）的出气口连接，所述一级冷凝过滤器（3）的出气口与二级吸附过滤器（6）的进气口连接，所述二级吸附过滤器（6）的出气口与三级吸附过滤器（11）的进气口连接，所述三级吸附过滤器（11）的出气口与真空泵（13）连接。3.根据权利要求1所述的石墨导热膜碳化炉真空过滤系统，其特征在于，所述一级冷凝过滤器（3）壳体内设置有若干冷凝管道（5），所述一级冷凝过滤器（3）进出气口处未设置冷凝管道（5），所述冷凝管道（5）的整体分布密度为：邻近进出气口的布置密度较其他部位稀疏。4.根据权利要求1所述的石墨导热膜碳化炉真空过滤系统，其特征在于，所述冷凝管道（5）上焊接有螺旋设置的不锈钢冷却翅片（501），相邻不锈钢冷却翅片（501）的间隙为4‑6mm。5.根据权利要求1所述的石墨导热膜碳化炉真空过滤系统，其特征在于，所述一级冷凝过滤器（3）中还设置有进水管道（4），冷却水通过所述进水管道（4）直接从上至下进入一级冷凝过滤器（3）的下部腔体（18A）内，再经过冷凝管道（5）回到一级冷凝过滤器（3）的上部腔体（18B），由出水口（17）排出，冷却水在冷凝管道（5）内的流动方向与废气在一级冷凝过滤器（3）中的流动方向相反。6.根据权利要求1所述的石墨导热膜碳化炉真空过滤系统，其特征在于，所述二级吸附过滤器（6）内可拆卸地设置有支架（7），所述支架（7）通过设置在所述二级吸附过滤器（6）内壁上的支架限位器（8）进行固定。7.根据权利要求6所述的石墨导热膜碳化炉真空过滤系统，其特征在于，所述支架（7）呈“U”字形，其自由端可拆卸地连接在所述二级吸附过滤器（6）的内壁上，并通过所述支架限位器（8）固定，所述支架（7）的“U”字形开口朝向所述二级吸附过滤器（6）的进气端。8.根据权利要求6或7所述的石墨导热膜碳化炉真空过滤系统，其特征在于，所述支架（7）由两层不锈钢条板组成，两层不锈钢条板之间设置有吸附过滤材料（9），并通过固定螺丝（10）将二者紧固在一起。9.根据权利要求1所述的石墨导热膜碳化炉真空过滤系统，其特征在于，所述三级吸附过滤器（11）内设置有滤芯（12），所述滤芯（12）折叠成瓦楞状，并呈圆柱形设置在三级吸附过滤器（11）中。2CN113694680A说明书1/4页一种石墨导热膜碳化炉真空过滤系统技术领域[0001]本发明属于石墨导热膜生产设备技术领域，具体涉及一种石墨导热膜碳化炉真空过滤系统。背景技术[0002]目前人工合成石墨导热膜主要的制备方法是将聚酰亚胺薄膜放置在工装治具上，随后依次通过低温碳化和高温石墨化热处理，最后通过压延、贴合和模切处理流程得到。[0003]其中，低温碳化流程是整个生产流程中至关重要的一环。低温碳化过