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一种CVD炉的炉温均匀性的校准方法.pdf
2023-06-15
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白凡****12
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本发明公开了一种CVD炉的炉温均匀性的校准方法，取两支热电偶，其中热电偶A由CVD炉的上方测温孔插入炉内，使热电偶A在炉内的一端位于CVD炉有效工作区域的最顶端；热电偶B由CVD炉的下方测温孔插入炉内，使热电偶B在炉内的一端位于CVD炉有效工作区域的最底端；然后将CVD炉升温至校验温度，保温后开始测温，然后每隔8～12min同时将热电偶A向下、热电偶B向上各推进90～110mm，每次待温度稳定后用热工仪表校验仪测量并记录数据，直至热电偶A与热电偶B的间距≤100mm，结束测温，通过测温结果计算测温数据与校
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2024-11-10
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