一种PVD真空镀膜机及电镀清理工艺.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112011759A(43)申请公布日2020.12.01(21)申请号202010854764.2(22)申请日2020.08.24(71)申请人宁波中骏森驰汽车零部件股份有限公司地址315300浙江省宁波市慈溪市周巷镇明德路99号(72)发明人刘洪涛夏林智理(74)专利代理机构慈溪夏远创科知识产权代理事务所(普通合伙)33286代理人陈伯祥(51)Int.Cl.C23C14/22(2006.01)B08B3/02(2006.01)B08B3/08(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图3页(54)发明名称一种PVD真空镀膜机及电镀清理工艺(57)摘要本发明公开了一种PVD真空镀膜机，包括机壳，机壳内设置有工作仓和位于上方的机械部，机械部内横向设置有提拉板，提拉板底端设置有隔绝罩壁，机壳的侧壁设置有分隔环，顶板和分隔环之间具有间隙且该间隙供隔绝罩壁通过；分隔环上均匀分布设置有若干个通孔；机械部侧壁固定设置有若干个电机，电机输出端设置有齿轮且该齿轮啮合连接有竖直的齿条，该齿条固定设置于移动轨道上；移动轨道上设置有可移动的移动清洗部；隔绝罩壁的外侧壁设置有若干个喷气口，喷气口朝向工作仓的侧壁喷射热空气，移动清洗部朝向工作仓的侧壁喷射清洁液。本发明能够自动清理真空镀膜机的侧壁，并且不影响镀膜工作，既能够保证镀膜质量，又提高了效率。CN112011759ACN112011759A权利要求书1/2页1.一种PVD真空镀膜机，其特征在于，包括机壳，所述机壳内设置有工作仓（1）和位于上方的机械部（2），所述机械部（2）内横向设置有提拉板，所述提拉板底端设置有隔绝罩壁（3），所述提拉板顶部连接有推杆，所述推杆顶部设置有气缸，所述气缸驱使所述推杆升降从而控制所述隔绝罩壁（3）的上升和下降；所述提拉板设置有四个透过口，所述机械部（2）顶部设置有四根支柱，所述支柱穿过所述透过口并且在底部固定连接所述工作仓（1）的顶板，所述机壳的侧壁（12）设置有分隔环，所述顶板和所述分隔环之间具有间隙且该间隙供所述隔绝罩壁（3）通过；所述分隔环上均匀分布设置有若干个通孔；所述机械部（2）侧壁固定设置有若干个电机，所述电机输出端设置有齿轮且该齿轮啮合连接有竖直的齿条，该齿条固定设置于移动轨道（4）上；所述移动轨道（4）上设置有可移动的移动清洗部（5）；所述隔绝罩壁（3）的外侧壁设置有若干个喷气口，所述喷气口朝向所述工作仓（1）的侧壁（12）喷射热空气，所述移动清洗部（5）朝向所述工作仓（1）的侧壁（12）喷射清洁液。2.根据权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于，所述机械部（2）内设置有气泵，所述气泵连接有加热部，所述气泵喷射的空气经过加热部加热后被输送至所述隔绝罩壁（3）内，最终从喷气口喷出；所述气泵的进气口处设置有灰尘过滤装置。3.根据权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于，所述移动清洗部（5）内设置有齿轮组和驱动电机，所述齿轮组啮合连接所述纸条并由该驱动电机控制转动从而实现在所述移动轨道（4）上进行升降移动。4.根据权利要求3所述的真空镀膜机，其特征在于，所述移动清洗部（5）排列设置有若干个喷雾头（51），所述喷雾头（51）朝向所述工作仓（1）的侧壁（12）喷洒雾状清洁液；所述移动清洗部（5）下部设置有高压喷水部（52），所述高压喷水部（52）水平方向设置有两到三个喷水头（521），所述喷水头喷洒高压水柱至侧壁（12）上进行冲洗；所述喷水头（521）水平方向的工作覆盖范围不小于所述喷雾头（51）的工作覆盖范围。5.根据权利要求4所述的真空镀膜机，其特征在于，所述移动清洗部（5）背部设置有连接部（53），所述连接部（53）垂直高度小于所述移动清洗部（5）的高度，所述连接部（53）顶部设置有清洁液管接头（531）和高压水管接头，所述清洁液管接头（531）和所述高压水管接头分别连接清洁液管和高压水管，所述清洁液管连接清洁液压力泵，所述高压水管连接高压水泵，所述清洁液压力泵和所述高压水泵设置于所述机械部（2）内，而所述清洁液压力泵和所述高压水泵汲取的清洁液和水选择外置的方式；所述连接部（53）的上下均设置有一个测距探头（532），所述测距探头（532）连接所述驱动电机，在检测到距离过近会发生碰撞时，驱使驱动电机停工或者反向转动。6.根据权利要求2所述的真空镀膜机，其特征在于，所述移动清洗部（5）顶部设置有吹气部（6），所述吹气部（6）设置有若干个朝向所述工作仓（1）的侧壁（12）的出气头（61），所述吹气部（6）尾部设置有气管接头（62），所述气管接头（62）连接有通气管，所述通气管另一端连接所述气泵。7.根据权利要求5所述的真空镀膜机，其特征在于，所述工作仓（1）的仓底（13）边缘