具有闪镀层的银合金键合丝及其制造方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113035820A(43)申请公布日2021.06.25(21)申请号202110290824.7C21D8/06(2006.01)(22)申请日2021.03.18C22C1/02(2006.01)C22C5/06(2006.01)(71)申请人汕头市骏码凯撒有限公司C22F1/02(2006.01)地址515000广东省汕头市龙湖区万吉工C22F1/14(2006.01)业区万吉北街6号A座C25D3/48(2006.01)(72)发明人周振基周博轩王俊智于锋波C25D3/50(2006.01)石逸武郭骅德彭政展C25D5/48(2006.01)(74)专利代理机构汕头市潮睿专利事务有限公C25D5/50(2006.01)司44230C25D7/06(2006.01)代理人林天普朱明华(51)Int.Cl.H01L23/49(2006.01)H01L21/48(2006.01)H01L33/62(2010.01)C21D1/26(2006.01)权利要求书2页说明书8页(54)发明名称具有闪镀层的银合金键合丝及其制造方法(57)摘要一种具有闪镀层的银合金键合丝，其特征在于包括银合金芯线、包覆在银合金芯线外面的闪镀层；所述闪镀层的材质为Au或Pd，闪镀层的厚度为1‑10nm。本发明还提供上述具有闪镀层的银合金键合丝的一种制造方法。本发明的银合金键合丝具有以下有益效果：（1）抗硫化性能和抗氧化性能优异；（2）一焊滑球比例极低，球形、作业性均符合要求。CN113035820ACN113035820A权利要求书1/2页1.一种具有闪镀层的银合金键合丝，其特征在于包括银合金芯线、包覆在银合金芯线外面的闪镀层；所述闪镀层的材质为Au或Pd，闪镀层的厚度为1‑10nm。2.根据权利要求1所述的具有闪镀层的银合金键合丝，其特征是：所述银合金芯线按重量计含有Au0.1‑2%，Pd0.1‑3%，微量添加元素10‑7000ppm，余量为Ag；所述微量添加元素是Ca、Cu、Sn、In和Pt中的一种或其中多种的组合。3.根据权利要求2所述的具有闪镀层的银合金键合丝，其特征是：所述银合金芯线按重量计含有Au0.5‑1.5%，Pd2.5‑3%，微量元素1000‑3000ppm，余量为Ag；微量添加元素是Cu、In和Pt的组合。4.根据权利要求3所述的具有闪镀层的银合金键合丝，其特征是：所述微量添加元素是1000‑2500ppm的Cu、50‑250ppm的In和50‑250ppm的Pt的组合。5.根据权利要求2所述的具有闪镀层的银合金键合丝，其特征是：所述银合金芯线按重量计含有Au0.1‑0.9%，Pd0.1‑0.9%，微量添加元素4000‑7000ppm，余量为Ag；微量添加元素是Cu、Ca和Sn的组合。6.根据权利要求5所述的具有闪镀层的银合金键合丝，其特征是：所述微量添加元素是4000‑6000ppm的Cu、20‑200ppm的Ca和50‑250ppm的Sn的组合。7.根据权利要求1‑6任一项所述的具有闪镀层的银合金键合丝，其特征是：所述银合金键合丝还包括形成在银合金芯线的表面上并且填补闪镀层表面的晶界及微裂纹的SAMs膜。8.权利要求1所述的具有闪镀层的银合金键合丝的制造方法，其特征在于包括下述步骤：（1）制作银合金芯线；（2）采用闪镀工艺在步骤（1）获得的银合金芯线表面上形成厚度为1‑10nm的闪镀层；（3）最后退火：对步骤（2）得到的具有闪镀层的银合金芯线进行最后退火，在退火过程中采用N2来做为退火气氛，退火炉有效长度为600‑1000mm，退火温度为400‑600℃，退火速率为50‑100m/min；（4）冷却：最后退火结束后，将具有闪镀层的银合金芯线冷却至20‑30℃，得到所需的具有闪镀层的银合金键合丝。9.根据权利要求8所述的具有闪镀层的银合金键合丝的制造方法，其特征在于：步骤（3）中完成最后退火后，采用抗氧化剂溶液对具有闪镀层的银合金芯线进行浸泡，干燥后在银合金芯线的表面上形成能够填补闪镀层表面的晶界及微裂纹的SAMs膜，再冷却至20‑30℃；所述抗氧化剂溶液是十八烷硫醇和十六烷基三甲基溴化铵的水溶液；每升抗氧化剂溶液含有：十八烷硫醇1‑3mol，十六烷基三甲基溴化铵10‑50g，余量为去离子水。10.根据权利要求8所述的具有闪镀层的银合金键合丝的制造方法，其特征在于所述步骤（1）中按下述步骤制作银合金芯线：（1‑1）熔铸：按比例将Au、Pd和微量添加元素加入到银原料中，经过真空熔炼和定向连续引铸工艺，获得直径为6‑8毫米的芯线线材；以上原料的重量比例为：Au0.1‑2%，Pd0.1‑3%，微量添加元素10‑7000ppm，余量为Ag；所述微量添加元素是C