盐以及含有该盐的光致抗蚀剂组合物.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN101898984A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN101898984A(43)申请公布日2010.12.01(21)申请号201010188195.9G03F7/00(2006.01)(22)申请日2010.05.25(30)优先权数据2009-1293562009.05.28JP(71)申请人住友化学株式会社地址日本国东京都(72)发明人市川幸司杉原昌子增山达郎(74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任公司11021代理人柳春琦(51)Int.Cl.C07C323/20(2006.01)C07C309/17(2006.01)C07D307/00(2006.01)G03F7/004(2006.01)权利要求书2页说明书62页(54)发明名称盐以及含有该盐的光致抗蚀剂组合物(57)摘要本发明提供盐以及含有该盐的光致抗蚀剂组合物。一种由式(I-BB)表示的盐，其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子等，X1表示单键等，Y1表示C1-C36脂族烃基等，A1和A2各自独立地表示C1-C20脂族烃基等，Ar1表示可以具有一个或多个1取代基的(m4+1)价C6-C20芳族烃基，B表示单键等，B2表示具有一个或多个-OXa基团并且不能通过酸的作用消除的C4-C36脂环族烃基等，并且Xa表示氢原子或能通过酸的作用消除的基团，m1和m2各自独立地表示0至2的整数，m3表示1至3的整数，条件是m1+m2+m3＝3，并且m4表示1至3的整数。CN10894ACN101898984A权利要求书1/2页1.一种由式(I-BB)表示的盐：其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1-C4全氟烷基，1X表示单键或-(CH2)k-，并且-(CH2)k-中的一个或多个-CH2-可以被-O-或-CO-取代，并且-(CH2)k-中的一个或多个氢原子可以被C1-C4脂族烃基取代，并且k表示1至17的整数，Y1表示C1-C36脂族烃基，C3-C36脂环族烃基或C6-C36芳族烃基，并且所述脂族烃基，所述脂环族烃基和所述芳族烃基可以具有一个或多个不含氟原子的取代基，并且所述脂族烃基和所述脂环族烃基中的一个或多个-CH2-可以被-O-或-CO-取代，A1和A2各自独立地表示C1-C20脂族烃基，C3-C20脂环族烃基或C6-C20芳族烃基，或A1和A2彼此结合以形成C3-C20环，并且所述脂族烃基，所述脂环族烃基，所述芳族烃基和所述环中的一个或多个氢原子可以被羟基，C1-C12烷基，C1-C12烷氧基或C3-C36脂环族烃基取代，1Ar表示可以具有一个或多个取代基的(m4+1)价C6-C20芳族烃基，1B表示单键或C1-C6亚烷基，并且所述亚烷基中的一个或多个-CH2-可以被-O-或-CO-取代，B2表示具有一个或多个-OXa基团并且不能通过酸的作用消除的C4-C36脂环族烃基，并且所述脂环族烃基中的一个或多个氢原子可以被C1-C20脂族烃基或C3-C20脂环族烃基取代，并且Xa表示氢原子或能通过酸的作用消除的基团，m1和m2各自独立地表示0至2的整数，m3表示1至3的整数，条件是m1+m2+m3＝3，并且m4表示1至3的整数。2.根据权利要求1所述的盐，其中Y1表示C1-C36脂族烃基，C3-C36脂环族烃基或C6-C36芳族烃基，并且所述脂族烃基，所述脂环族烃基和所述芳族烃基中的一个或多个氢原子可以被氯原子，溴原子，羟基，氰基，C2-C7酰基，C2-C18酰氧基，C1-C6烷氧基，C2-C7烷氧羰基，C1-C12脂族烃基，C3-C10脂环族烃基或C6-C20芳族烃基取代，并且所述脂族烃基和所述脂环族烃基中的一个或多个-CH2-可以被-O-或-CO-取代，并且所述C6-C20芳族烃基中的一个或多个氢原子可以被C1-C12脂族烃基，C3-C10脂环族烃基或C1-C6烷氧基取代，并且1Ar表示(m4+1)价C6-C20芳族烃基并且所述芳族烃基中的一个或多个氢原子可以被卤素原子，羟基，C1-C12脂族烃基，C3-C10脂环族烃基，C2-C4酰基或C1-C6烷氧基取代。3.根据权利要求1所述的盐，其中B2是由式(B2-a)或(B2-b)表示的基团：2CN101898984A权利要求书2/2页其中Rc在每次出现时均独立地为C1-C20脂族烃基或C3-C20脂环族烃基，c表示0至6的整数，并且Xa表示氢原子或能通过酸的作用消除的基团。14.根据权利要求1所述的盐，其中Ar是亚苯基并且m4为1。5.根据权利要求1所述的盐，其中m1，m2和m3为1。1**16.根据权利要求1所述的盐，其中B是-O-CH2-CO-O-，其中表示与Ar的结合位置。7.根据权利要求1所述的盐，其中Ar1是对亚苯基。8.一种光致抗蚀剂组合物，所述光致抗蚀剂组合物