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(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102004319A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102004319A(43)申请公布日2011.04.06(21)申请号201010500034.9(22)申请日2010.09.30(71)申请人深圳市大族激光科技股份有限公司地址518055广东省深圳市南山区高新技术园北区新西路9号大族激光大厦(72)发明人汪玉树高云峰(51)Int.Cl.G02B27/09(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图2页(54)发明名称一种紫外变倍扩束镜(57)摘要本发明提供一种紫外变倍扩束镜,用于紫外激光扩束,包括沿着光束入射方向依次排列的第一、二、三透镜,该紫外变倍扩束镜的入射孔径为1mm,入射激光波长为355mm;所述第一、三透镜都为双凸透镜,第二透镜为双凹透镜,且三个透镜位于同一光轴上;所述的第一透镜与第二透镜在光轴上的间距为d2=3~10.3mm,所述第二透镜和第三透镜在光轴上的间距为d4=149~158.1mm。本发明达到的有益效果是:可使的激光聚焦系统得到较大的像方孔径角,提高激光聚焦时焦点处的能量密度,并且提高激光的加工效率;同时,由于激光光束的扩束倍数可调节,可以针对不同激光器输出的不同激光参数而使用同一种光学应用系统进行加工。ACN102439CCNN110200431902004332A权利要求书1/1页1.一种紫外变倍扩束镜,用于紫外激光扩束,其特征在于:其包括沿着光束入射方向依次排列的第一透镜(L1)、第二透镜(L2)以及第三透镜(L3),该紫外变倍扩束镜的入射孔径为1mm,波长为355mm;所述的第一透镜(L1)和第三透镜(L3)都为双凸透镜,第二透镜(L2)为双凹透镜,且三个透镜位于同一光轴上;所述的第一透镜(L1)与第二透镜(L2)在光轴上的间距为d2=3~10.3mm,所述的第二透镜(L1)与第三透镜(L1)在光轴上的间距为d4=149~158.1mm。2.根据权利要求1所述的紫外变倍扩束镜,其特征在于:所述的d2=10.3mm,所述的d4=149mm,该紫外变倍扩束镜的扩束倍数为4。3.根据权利要求1所述的紫外变倍扩束镜,其特征在于:所述的d2=6.6mm,所述的d4=155.4mm,该紫外变倍扩束镜的扩束倍数为7。4.根据权利要求1所述的紫外变倍扩束镜,其特征在于:所述的d2=3mm,所述的d4=158.1mm,该紫外变倍扩束镜的扩束倍数为10。5.根据权利要求1所述的紫外变倍扩束镜,其特征在于:所述的第一透镜(L1)由面曲率分别为R1和R2的两个曲面S1和S2构成,R1为100.00mm,R2为-13.24mm,且在光轴上的中心厚度d1为3.00mm。6.根据权利要求1所述的紫外变倍扩束镜,其特征在于:所述的第二透镜(L2)由面曲率分别为R3和R4的两个曲面S3和S4构成,R3为-10.00mm,R4为7.40mm,且在光轴上的中心厚度d3为2.00mm。7.根据权利要求1所述的紫外变倍扩束镜,其特征在于:所述的第三透镜(L3)由面曲率分别为R5和R6的两个曲面S5和S6构成,R5为517.32mm,R6为-99.22mm,且在光轴上的中心厚度d5为3.00mm。8.根据权利要求1所述的紫外变倍扩束镜,其特征在于:所述的紫外变倍扩束镜的三个透镜的材料相同,均为Nd/Vd=1.46/67.80。2CCNN110200431902004332A说明书1/4页一种紫外变倍扩束镜【技术领域】[0001]本发明涉及到光学镜头,尤其涉及一种紫外激光扩束镜。【背景技术】[0002]光学扩束镜在激光加工光学系统中,占有相当重要的地位,根据拉氏不变量(Lagrange)定理:[0003]J=nDθ=n′D′θ′[0004]其中:n和n′表示光学系统在介质中的折射率,当介质为空气时,n=n′=1,D和D′表示光学系统的入瞳直径和出瞳直径;θ和θ′表示入射光的视场角和出射光的视场角,当视场角很小时,可以用弧度来表示,由上式可见,当出射的激光束有发散角时,即θ较大时,通过扩束镜由D→D′,即放大β=D′/D倍,都可使激光束的发散角缩小β倍,从而达到整形激光束的目的。[0005]另一方面,一般的激光束出光直径都很小(约Φ=1mm左右),为此,要直接聚焦这么细的光束,其瑞利斑就很大,据瑞利斑公式:[0006]瑞利斑直径δ=2.44λf/D[0007]可见,D越小,δ就越大,这样会大大地降低了系统的加工精度。鉴于以上两个基本要求,激光加工的光学系统一般都要配用扩束镜。【发明内容】[0008]本发明提供了一种紫外激光变倍扩束镜该扩束镜可在更大的范围内调节激光光束输出大小。[0009]本发明所采取的技术方案是:一种紫外变倍扩束镜,用于紫外激光扩束,其包括沿着光束入射方向依次排