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一种紫外激光变倍扩束系统及激光加工设备.pdf
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景福****90
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一种紫外激光变倍扩束系统及激光加工设备.pdf
本发明适用于激光加工领域，提供了一种紫外激光变倍扩束系统，包括第一、二、三透镜；第一、三透镜为平凸正透镜，第二透镜为凸凹负透镜；第一、二、三透镜分别包括第一、二曲面，第三、四曲面及第五、六曲面；第一至六曲面的曲率半径为∞，-30，10，2.2，∞，-81；第一至三透镜的中心厚度为2，1，4；第一第三透镜的外径为10，3，34；第一至三透镜的折射率与阿贝数的比例为1.57：41，1.48：68，1.57：41；第二、三曲面的间距为6~37；第四、五曲面的间距为114~125，单位mm，公差为5%。该系统可将
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