一种扩散炉及其炉门密闭装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102851741A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102851741A(43)申请公布日2013.01.02(21)申请号201210097620.2(22)申请日2012.04.05(71)申请人深圳市大族光伏科技股份有限公司地址518000广东省深圳市南山区高新技术园北区新西路9号(72)发明人王俊朝李学文刘兵吉李军阳(74)专利代理机构广东国晖律师事务所44266代理人陈琳(51)Int.Cl.C30B31/06(2006.01)权利要求书权利要求书1页1页说明书说明书33页页附图附图11页(54)发明名称一种扩散炉及其炉门密闭装置(57)摘要本发明公开一种扩散炉及其炉门密闭装置，该装置包括：与炉管的端口面可活动密闭连接的炉门；和支撑旋转杆；将炉门与支撑旋转杆的一端部可转动连接的活动关节；支撑旋转杆的中端部通过第一驱动杆连接有控制炉门开关的开关机构；支撑旋转杆的另一端部通过第二驱动杆连接有保证所述炉门密闭的水平运动机构；以及水平运动机构连接有驱动其沿水平方向运动的气缸组件。该技术方案能更好的防止扩散源泄漏，从而达到提高密闭性能的同时节省成本的目的；炉门与炉管之间的柔性接触，避免了其间的硬碰撞导致零件损坏；通过单独控制炉门密闭气压，避免炉门与炉管冲撞；另外，还可降低炉门安装要求，从而降低了炉门密闭装置的维护时间。CN1028574ACN102851741A权利要求书1/1页1.一种炉门密闭装置，其特征在于，其包括：与炉管的端口面可活动密闭连接的炉门；和支撑旋转杆；将所述炉门与所述支撑旋转杆的一端部可转动连接的活动关节；所述支撑旋转杆的中端部通过第一驱动杆连接有控制所述炉门开关的开关机构；所述支撑旋转杆的另一端部通过第二驱动杆连接有保证所述炉门密闭的水平运动机构；以及所述水平运动机构连接有驱动其沿水平方向运动的气缸组件。2.根据权利要求1所述的炉门密闭装置，其特征在于，所述活动关节和所述支撑旋转杆之间设有用于调节所述炉门位置的调节机构。3.根据权利要求2所述的炉门密闭装置，其特征在于，所述第一驱动杆与所述支撑旋转杆的中端部通过第一轴套固定连接。4.根据权利要求3所述的炉门密闭装置，其特征在于，所述第二驱动杆与所述支撑旋转杆的另一端部通过第二轴套固定连接。5.根据权利要求4所述的炉门密闭装置，其特征在于，所述炉门设有用于检测所述炉门位置的多个位置传感器。6.根据权利要求5所述的炉门密闭装置，其特征在于，所述活动关节垂直固定于所述炉门。7.根据权利要求6所述的炉门密闭装置，其特征在于，所述活动关节为支撑柱。8.根据权利要求6所述的炉门密闭装置，其特征在于，所述炉门为石英炉门。9.根据权利要求1所述的炉门密闭装置，其特征在于，所述开关机构还用于定位所述炉门位置并缓冲所述炉门与所述炉管的端口面之间的接触。10.一种扩散炉，其特征在于，所述扩散炉包括上述权利要求1至9任一项所述的炉门密闭装置。2CN102851741A说明书1/3页一种扩散炉及其炉门密闭装置技术领域[0001]本发明涉及炉门密封领域，尤其涉及一种扩散炉及其炉门密闭装置。背景技术[0002]目前的管式扩散炉门密闭装置与炉管密闭时一般采用硬接触；加上炉门与炉管之间密闭性不是很好，容易漏源形成偏磷酸，导致与炉管连接的整个排气室被污染；另外，管式扩散炉门密闭装置关闭置炉门时，为了达到更好的密闭效果，一般需要人工调整炉门的结构，这样的话，对管式扩散炉门密闭装置的安装要求也较高，同时需要定期调整炉门，且效果不佳。发明内容[0003]本发明要解决的技术问题在于，针对现有技术具有硬接触、密闭效果不佳和安装复杂的缺陷，提供一种具有柔性接触、密闭效果佳且安装要求低的扩散炉及其炉门密闭装置。[0004]本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：构造一种炉门密闭装置，其包括：[0005]与炉管的端口面可活动密闭连接的炉门；[0006]和支撑旋转杆；[0007]将所述炉门与所述支撑旋转杆的一端部可转动连接的活动关节；[0008]所述支撑旋转杆的中端部通过第一驱动杆连接有控制所述炉门开关的开关机构；[0009]所述支撑旋转杆的另一端部通过第二驱动杆连接有保证所述炉门密闭的水平运动机构；以及[0010]所述水平运动机构连接有驱动其沿水平方向运动的气缸组件。[0011]在本发明所述的炉门密闭装置中，所述活动关节和所述支撑旋转杆之间设有用于调节所述炉门位置的调节机构。[0012]在本发明所述的炉门密闭装置中，所述第一驱动杆与所述支撑旋转杆的中端部通过第一轴套固定连接。[0013]在本发明所述的炉门密闭装置中，所述第二驱动杆与所述支撑旋转杆的另一端部通过第二轴套固定连接。[0014]在本发明所述的炉门密闭装置中，所述炉门设有用于检测所述炉门位置的多个