正型感光性树脂组合物及其图案形成方法.pdf
靖烟****魔王
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正型感光性树脂组合物及其图案形成方法.pdf
本发明是有关一种正型感光性树脂组合物及其形成图案的方法。此正型感光性树脂组合物包含酚醛清漆树脂(A)、邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(B)、染料(C)以及溶剂(D)。上述的酚醛清漆树脂(A)包含羟基型酚醛清漆树脂(A-1),其是由羟基苯甲醛类化合物与芳香族羟基化合物缩合而得。上述的染料(C)包含由双偶氮系染料、蒽醌系染料及三价铬偶氮系染料所组成的一群组中至少选自一种(C-1),及三芳甲烷系染料(C-2)。此正型感光性树脂组合物可于金属线路上形成细小显色图案,且在蚀刻后颜色不脱落,有利于遮蔽金属线路的反射光线。
正型感光性树脂组合物及固化图案的制备方法.pdf
本发明属于感光树脂组合物领域,具体公开了一种正型感光树脂组合物及固化图案的制备方法。正型感光树脂组合物包括(A)碱溶性树脂聚合物;(B)交联化合物,所述交联化合物选自第一交联化合物、第二交联化合物和第三交联化合物中的至少两种;和(C)酚类重氮萘醌磺酸酯化物,所述酚类重氮萘醌磺酸酯化物包括第一酚类重氮萘醌磺酸酯化物和第二酚类重氮萘醌磺酸酯化物。固化图案的制备方法为将上述正型感光树脂组合物涂布在基板上,经过烘烤、曝光、显影、固化,得到固化图案。本发明在固化图案的制备过程的曝光后的显影过程中具有良好的显影速率,
正型感光性树脂组合物及固化图案的制备方法.pdf
本发明属于感光树脂组合物领域,公开了一种正型感光性树脂组合物及固化图案的制备方法。正型感光树脂组合物,包括所述第一组分,为含酚羟基的碱可溶性树脂;所述第二组分,为含丙烯酸类结构的碱可溶性树脂,所述第三组分,为重氮萘醌酯类的萘醌酯类光敏化合物,所述第四组分,为热致产酸剂。固化图案的制备方法,将上述的正型感光树脂组合物涂布在基板上,经过烘烤、曝光、显影、固化,得到固化图案。本发明的正型感光树脂组合物添加有含丙烯酸类结构的碱可溶性树脂与热产酸剂的组合,配合重氮萘醌磺酸酯化物,使制备的正型感光树脂组合物经过曝光、
负型感光性树脂组合物以及图案形成方法.pdf
本发明提供一种在图案形成中难以产生底切的负型感光性树脂组合物以及图案形成方法。采用含有含环氧基化合物、光阳离子聚合引发剂、具有以通式(ahs1)表示的结构单元的树脂的负型感光性树脂组合物。含环氧基化合物包含酚醛清漆型环氧树脂。光阳离子聚合引发剂包含鎓硼酸盐。通式(ahs1)中,R为氢原子、碳原子数为1~5的烷基或者碳原子数为1~5的卤代烷基。Ya<base:Sup>X1</base:Sup>为单键或者2价的连接基团。Wa<base:Sup>x1</base:Sup>为可具有取代基的芳香族烃基。n<base
正型感光性树脂组合物及其应用.pdf
本发明有关一种正型感光性树脂组合物及其应用。该正型感光性树脂组合物包含:酚醛清漆树脂A;邻萘醌二迭氮磺酸类的酯化物B;染料C;及溶剂D;该酚醛清漆树脂A由甲酚类芳香族羟基化合物与醛类化合物聚缩合而得,基于凝胶渗透色层分析法所测得的酚醛清漆树脂A分子量的积分面积为100%,酚醛清漆树脂A中的甲酚二核体面积为0.5%至6%;染料C包含染料C-1及染料C-2,染料C-1选自由双偶氮系染料、蒽醌系染料及三价铬偶氮系染料所组成的群;染料C-2为三芳甲烷系染料。本发明的正型感光性树脂组合物具有蚀刻后颜色不脱落的优点。