内容提供者
负型感光性树脂组合物以及图案形成方法.pdf
2023-05-21
10金币
2.4MB
55页
是你****松呀
实名认证
内容提供者
1/10
2/10
3/10
4/10
5/10
6/10
7/10
8/10
9/10
10/10
亲，该文档总共55页，到这已经超出免费预览范围，如果喜欢就直接下载吧～
相关资料
负型感光性树脂组合物以及图案形成方法.pdf
本发明提供一种在图案形成中难以产生底切的负型感光性树脂组合物以及图案形成方法。采用含有含环氧基化合物、光阳离子聚合引发剂、具有以通式(ahs1)表示的结构单元的树脂的负型感光性树脂组合物。含环氧基化合物包含酚醛清漆型环氧树脂。光阳离子聚合引发剂包含鎓硼酸盐。通式(ahs1)中,R为氢原子、碳原子数为1～5的烷基或者碳原子数为1～5的卤代烷基。Ya<base:Sup>X1</base:Sup>为单键或者2价的连接基团。Wa<base:Sup>x1</base:Sup>为可具有取代基的芳香族烃基。n<base
2023-05-21
10
2.4MB
负型感光性树脂组合物、图案结构和图案固化膜的制造方法.pdf
提供:基于聚硅氧烷的、新的感光性树脂组合物、即负型感光性树脂组合物。负型感光性树脂组合物含有:(A)包含通式(1)所示的第一结构单元的聚硅氧烷化合物;(B)光诱导性固化促进剂;(C)溶剂。[(R<base:Sup>x</base:Sup>)<base:Sub>b</base:Sub>R<base:Sup>1</base:Sup><base:Sub>m</base:Sub>SiO<base:Sub>n/2</base:Sub>](1)(通式(1)中,R<base:Sup>x</base:Sup>为通式(1a
2023-05-15
10
1.5MB
负型感光性树脂组合物和固化浮雕图案的制造方法.pdf
本发明提供一种在铜布线上形成浮雕图案时显示高清晰度、即便固化温度为低温也会充分进行酰亚胺化、能够制造与铜布线的密合性良好的固化浮雕图案的负型感光性树脂组合物,以及使用该负型感光性树脂组合物来制造固化浮雕图案的方法。负型感光性树脂组合物包含:(A)包含特定通式(1)所示结构单元的聚酰亚胺前体、以及(B)光聚合引发剂,所述结构单元包含具有脲结构的1价有机基团。<base:Imagehe=@360@wi=@1000@file=@DDA0003773361710000011.JPG@imgContent=@dra
2023-05-10
10
1.9MB
正型感光性树脂组合物及其图案形成方法.pdf
本发明是有关一种正型感光性树脂组合物及其形成图案的方法。此正型感光性树脂组合物包含酚醛清漆树脂(A)、邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(B)、染料(C)以及溶剂(D)。上述的酚醛清漆树脂(A)包含羟基型酚醛清漆树脂(A-1)，其是由羟基苯甲醛类化合物与芳香族羟基化合物缩合而得。上述的染料(C)包含由双偶氮系染料、蒽醌系染料及三价铬偶氮系染料所组成的一群组中至少选自一种(C-1)，及三芳甲烷系染料(C-2)。此正型感光性树脂组合物可于金属线路上形成细小显色图案，且在蚀刻后颜色不脱落，有利于遮蔽金属线路的反射光线。
2023-06-14
10
7MB
感光性树脂组合物、感光性膜以及抗蚀图案的形成方法.pdf
本发明提供一种感光性树脂组合物，其特征在于，含有：(A)成分，具有酚性羟基的树脂；(B)成分，具有2个以上环氧乙烷环的脂肪族或脂环式环氧化合物；(C)成分，光敏性酸产生剂；以及(D)成分，溶剂，相对于上述(A)成分100质量份，含有上述(B)成分20～70质量份。
2023-06-14
10
1.8MB