一种柔性基板闪烁体屏的制备方法及闪烁体屏.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109754892A(43)申请公布日2019.05.14(21)申请号201811600892.3(22)申请日2018.12.26(71)申请人北京纳米维景科技有限公司地址100094北京市海淀区北清路68号院1号楼一层1-06(72)发明人张超罗杰(74)专利代理机构北京汲智翼成知识产权代理事务所(普通合伙)11381代理人陈曦王鹏丽(51)Int.Cl.G21K4/00(2006.01)G01T1/20(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图1页(54)发明名称一种柔性基板闪烁体屏的制备方法及闪烁体屏(57)摘要本发明公开了一种柔性基板闪烁体屏的制备方法，包括如下步骤：(1)提供柔性基板，柔性基板至少有一个表面具有高可见光反射率或高可见光吸收率；(2)将与柔性基板具有高可见光反射率或高可见光吸收率的一侧相对的另一侧表面通过均匀填充的导热胶固定在导热钢性基板上；(3)在柔性基板具有高可见光反射率或高可见光吸收率的一侧表面进行闪烁体层的制备。上述制备方法，通过将柔性基板通过均匀填充的导热胶固定在导热钢性基板上，实现柔性基板在高温蒸镀过程中的固定和快速导热，防止柔性基板因重力或受热不均而变形，显著提高了镀膜的均匀性。本发明同时公开了由上述制备方法获得的闪烁体屏。CN109754892ACN109754892A权利要求书1/1页1.一种柔性基板闪烁体屏的制备方法，其特征在于包括如下步骤：(1)提供柔性基板，所述柔性基板至少有一个表面具有高可见光反射率或高可见光吸收率；(2)将与所述柔性基板具有高可见光反射率或高可见光吸收率的一侧相对的另一侧表面通过均匀填充的导热胶固定在导热钢性基板上；(3)在所述柔性基板具有高可见光反射率或高可见光吸收率的一侧表面进行闪烁体层的制备。2.如权利要求1所述的柔性基板闪烁体屏的制备方法，其特征在于还包括步骤(4)：剥离去除所述钢性导热基板和所述导热胶。3.如权利要求1或2所述的柔性基板闪烁体屏的制备方法，其特征在于还包括步骤(5)：在上述结构的外部制备防水保护层，使所述防水保护层至少完整覆盖所述闪烁体层。4.如权利要求1所述的柔性基板闪烁体屏的制备方法，其特征在于：所述导热钢性基板的导热系数大于10W/mK；所述导热胶的导热系数大于1W/mK；所述导热胶的热膨胀系数应介于所述柔性基板的热膨胀系数和所述导热钢性基板的热膨胀系数之间。5.如权利要求1所述的柔性基板闪烁体屏的制备方法，其特征在于：所述导热钢性基板是铝合金、铜合金或不锈钢。6.如权利要求1所述的柔性基板闪烁体屏的制备方法，其特征在于：所述导热胶是胶水或双面胶带，所述胶水的填充方式是流延法、提拉法、丝网印刷、喷涂中的任意一种。7.如权利要求1所述的柔性基板闪烁体屏的制备方法，其特征在于：所述柔性基板至少有一个表面的可见光反射率为80～100％或0～20％。8.如权利要求7所述的柔性基板闪烁体屏的制备方法，其特征在于：所述柔性基板选用透明柔性基板，并在所述柔性基板的一侧表面制备光反射层或光吸收层。9.如权利要求2所述的柔性基板闪烁体屏的制备方法，其特征在于：在所述步骤(4)中所使用的剥离方式为机械剥离、光照剥离、激光剥离中的任意一种。10.一种闪烁体屏，其特征在于由权利要求1至9中任意一项所述的柔性基板闪烁体屏的制备方法获得。2CN109754892A说明书1/4页一种柔性基板闪烁体屏的制备方法及闪烁体屏技术领域[0001]本发明涉及一种柔性基板闪烁体屏的制备方法，同时涉及由上述制备方法获得的闪烁体屏。背景技术[0002]柱状晶碘化铯闪烁体,包括掺铊的碘化铯CsI(Tl)和掺钠的碘化铯CsI(Na)，在X射线检测领域得到了广泛应用。柔性基板上生长的碘化铯屏轻薄、耐弯折、防水性好。然而，若在一些软化温度较低的大尺寸柔性基板上热蒸镀碘化铯，蒸镀过程中极易发生基板的变形，并且，镀膜过程中基板不同部位散热能力差异导致基板不同部位温度差异变大，影响镀膜均匀性。为此，现有技术中在柔性基板表面蒸镀柱状晶碘化铯闪烁体时，在柔性基板的背面均采用了辅助基板。[0003]例如，日本滨松公司利用派瑞林膜将柔性基板和钢性基板绑定以防止柔性基板变形，具体可以参见US7618511B2中公开的内容。但这种结构仅在边缘实现柔性基板和钢性基板的紧密贴合，基板中部在蒸镀过程中易从钢性基板剥离，导致中部散热能力下降，基板中部生长的晶柱较边缘部位粗大，薄膜均匀性下降。[0004]又如，奕瑞影像科技(太仓)有限公司在公开号为CN107742628A的专利申请文件中公开了一种柔性闪烁屏、放射线图像传感器及其制备方法，其中，在辅助基板和离型层上制备柔性基底层后进行碘化铯蒸镀，再在闪烁体上制备保护层，然后剥