感光性树脂组合物和固化浮雕图案的制造方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115755526A(43)申请公布日2023.03.07(21)申请号202211288409.9(74)专利代理机构北京林达刘知识产权代理事(22)申请日2017.08.17务所(普通合伙)11277专利代理师刘新宇李茂家(30)优先权数据2016-1616812016.08.22JP(51)Int.Cl.2016-2282402016.11.24JPG03F7/037(2006.01)2016-2384522016.12.08JPG03F7/038(2006.01)2017-0460222017.03.10JPG03F7/004(2006.01)C08G73/10(2006.01)(62)分案原申请数据C08G73/12(2006.01)201780004863.82017.08.17C08G73/22(2006.01)(71)申请人旭化成株式会社G03F7/20(2006.01)地址日本东京都G03F7/30(2006.01)(72)发明人赖末友裕中村光孝井上泰平G03F7/40(2006.01)平田竜也佐佐木隆弘H01L21/027(2006.01)权利要求书5页说明书75页(54)发明名称感光性树脂组合物和固化浮雕图案的制造方法(57)摘要一种负型感光性树脂组合物，其在200℃以下的低温固化条件下酰亚胺化率也良好、能得到耐化学药品性高的树脂层，所述负型感光性树脂组合物相对于(A)聚酰亚胺前体100质量份以0.1质量份～20质量份的比例包含(B)光聚合引发剂，(A)聚酰亚胺前体为具有特定结构的聚酰胺酸酯或聚酰胺酸盐，(A)聚酰亚胺前体的重均分子量(Mw)以基于凝胶渗透色谱(GPC)的聚苯乙烯换算计为3000以上且不足16000。CN115755526ACN115755526A权利要求书1/5页1.一种负型感光性树脂组合物，其特征在于，包含在主链的末端具有通过热或光而发生反应的反应性取代基的感光性聚酰亚胺前体，所述组合物的在25℃下用E型粘度计测定得到的粘度为80泊以下。2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，所述反应性取代基包含选自以下的组中的至少一者：由丙烯酸基、甲基丙烯酸基、乙烯基、链烯基、环烯基、链二烯基、环二烯基、苯乙烯基、乙炔基、亚氨基、异氰酸酯基、氰氧基、环烷基、环氧基、氧杂环丁烷基、碳酸酯基、羟基、巯基、羟甲基和烷氧基烷基组成的组。3.根据权利要求2所述的感光性树脂组合物，其中，所述反应性取代基包含选自由丙烯酸基、甲基丙烯酸基、乙烯基、链烯基、环烯基、链二烯基、环二烯基、苯乙烯基、乙炔基组成的组中的至少一者。4.根据权利要求3所述的感光性树脂组合物，其中，所述反应性取代基包含甲基丙烯酸基。5.根据权利要求1～4中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述感光性聚酰亚胺前体为包含下述通式(A1)所示结构的感光性聚酰亚胺前体，通式(A1)中，X为四价有机基团，Y为二价有机基团，R5和R6各自独立地为氢原子、下述通式(R1)所示的一价有机基团、或C1～C4的饱和脂肪族基团，其中，R5和R6两者不同时为氢原子，通式(R1)中，R7、R8、和R9各自独立地为氢原子或C1～C3的有机基团，并且p为选自1～10中的整数，所述感光性聚酰亚胺前体的主链的至少一个末端具有下述通式(E1)或(F1)的结构，式(E1)中，a1包含酰胺键、酰亚胺键、脲键、氨基甲酸酯键中的至少一个基团，b1为通过热或光发生交联的反应性取代基，e1为碳数1～30的一价有机基团，R11、R14各自独立地为氢原子或碳数1～30的一价有机基团，并且R12、R13各自独立地为氢原子、碳数1～30的一价有2CN115755526A权利要求书2/5页机基团、芳香族环或脂肪族环的一部分中的任一者，其中，R12和R13不同时为氢原子，式(F1)中，f1包含酰胺键、酰亚胺键、脲键、氨基甲酸酯键、酯键中的至少一个基团，g1为通过热或光发生交联的反应性取代基，并且R15～R19各自独立地为氢原子、碳数1～30的一价有机基团、或芳香族环或脂肪族环的一部分中的任一者，其中，R16、R17、R18不同时为氢原子。6.根据权利要求5所述的负型感光性树脂组合物，其中，所述b1和g1为末端具有双键的反应性取代基。7.根据权利要求6所述的负型感光性树脂组合物，其中，所述感光性聚酰亚胺前体的主链的至少一个末端包含所述通式(F1)的结构。8.根据权利要求7所述的负型感光性树脂组合物，其中，所述f1包含酰胺基、酰亚胺基、脲基、氨基甲酸酯基中的至少一个基团。9.根据权利要求5所述的感光性树脂组合物，其中，所述b1包含选自由丙烯酸基、甲基丙烯酸基、乙烯基、链烯基、环烯基、链二烯基、环二烯基、苯乙烯基、乙炔基、亚氨基、异氰酸酯