负型感光性树脂组合物和固化浮雕图案的制造方法.pdf
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负型感光性树脂组合物和固化浮雕图案的制造方法.pdf
本发明提供一种在铜布线上形成浮雕图案时显示高清晰度、即便固化温度为低温也会充分进行酰亚胺化、能够制造与铜布线的密合性良好的固化浮雕图案的负型感光性树脂组合物,以及使用该负型感光性树脂组合物来制造固化浮雕图案的方法。负型感光性树脂组合物包含:(A)包含特定通式(1)所示结构单元的聚酰亚胺前体、以及(B)光聚合引发剂,所述结构单元包含具有脲结构的1价有机基团。<base:Imagehe=@360@wi=@1000@file=@DDA0003773361710000011.JPG@imgContent=@dra
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