一种双芳基亚砜、卤代三芳基硫鎓盐及光致产酸剂的制备方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114957054A(43)申请公布日2022.08.30(21)申请号202210647924.5(22)申请日2022.06.09(71)申请人宁波南大光电材料有限公司地址315800浙江省宁波市北仑区柴桥街道青山路21号(72)发明人李彦霖毛智彪许从应(74)专利代理机构深圳盛德大业知识产权代理事务所(普通合伙)44333专利代理师左光明(51)Int.Cl.C07C315/00(2006.01)C07C317/14(2006.01)C07C317/22(2006.01)C07C381/12(2006.01)G03F7/004(2006.01)权利要求书1页说明书10页附图6页(54)发明名称一种双芳基亚砜、卤代三芳基硫鎓盐及光致产酸剂的制备方法(57)摘要本发明适用于光刻胶技术领域，提供一种双芳基亚砜的制备方法，包括：在保护气氛中，将芳香烃与二氯亚砜混合；低温搅拌下，在混合液中加入三氟甲磺酸进行反应；然后在反应液中加入碱中和残留的酸，再将反应液脱溶。将本发明制备的双芳基亚砜溶于醚类溶剂中，加入三甲基氯硅烷活化，低温搅拌情况下，再向其加入芳基格式试剂制得卤代三芳基硫鎓盐。将卤代三芳基硫鎓盐及全氟丁基磺酸钾溶于甲醇溶液，搅拌、旋干得到光致产酸剂。本发明使用廉价易得的原料芳香烃出发制备双芳基亚砜，收率高，成本低，经过简单的纯化后，即可用于后续的卤代三芳基硫鎓盐的合成，为后续光刻胶中光致产酸剂的合成降低了成本、铺平道路。CN114957054ACN114957054A权利要求书1/1页1.一种双芳基亚砜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：在保护气氛中，将芳香烃与二氯亚砜混合；低温搅拌下，在所述芳香烃与二氯亚砜的混合液中加入三氟甲磺酸进行反应；反应完毕后，在所述芳香烃、二氯亚砜及三氟甲磺酸的反应液中加入碱中和残留的酸，再将所述反应液脱溶。2.如权利要求1所述的双芳基亚砜的制备方法，其特征在于，所述芳香烃为苯、甲苯、乙基苯、丙基苯、叔丁基苯、甲氧基苯、氟苯、氯苯或溴苯中的一种。3.如权利要求1所述的双芳基亚砜的制备方法，其特征在于，所述芳香烃与二氯亚砜的摩尔比为1：2‑1000；和/或所述二氯亚砜与三氟甲磺酸的摩尔比为1：1‑10。4.如权利要求1所述的双芳基亚砜的制备方法，其特征在于，所述低温搅拌的温度为‑25～20℃。5.一种卤代三芳基硫鎓盐的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：将采用如权利要求1‑4任一项所述的方法制备的双芳基亚砜溶于醚类溶剂中，并加入三甲基氯硅烷活化；在‑25～20℃下，往活化后的双芳基亚砜中加入芳基格式试剂。6.如权利要求5所述的卤代三芳基硫鎓盐的制备方法，其特征在于，所述芳基格式试剂为苯基卤化镁、烷基取代苯基卤化镁、烷氧基取代苯基卤化镁或卤素取代芳基卤化镁中的一种；和/或加入的三甲基氯硅烷与双芳基亚砜的摩尔比为1：1.5‑10；和/或所述芳基格式试剂与双芳基亚砜的摩尔比为1‑2.5：1。7.一种光致产酸剂的制备方法，其特征在于，将光致产酸剂阴离子钠盐或阴离子钾盐及采用如权利要求5或6所述的方法制备的卤代三芳基硫鎓盐溶于溶剂中，搅拌1～3小时，旋干。8.一种如权利要求7所述的方法制备的光致产酸剂。9.一种光刻胶组合物，其特征在于，包括以下组分及重量百分含量：酸扩散抑制剂，0.001～10％；具有酸活性的成膜树脂，1～20％；如权利要求8所述的光致产酸剂，0.01～10％；有机溶剂，余量。10.如权利要求9所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述具有酸活性的成膜树脂的结构通式如下：其中，极性基团单体的含量为30‑70％；和/或所述具有酸活性的成膜树脂的分子量为4000～10000，分子量分布在1.0‑3.0之间。2CN114957054A说明书1/10页一种双芳基亚砜、卤代三芳基硫鎓盐及光致产酸剂的制备方法技术领域[0001]本发明属于光刻胶技术领域，尤其涉及一种双芳基亚砜、卤代三芳基硫鎓盐及光致产酸剂的制备方法。背景技术[0002]光刻胶是一种感光性高分子材料，对光和射线的灵敏度高，主要应用于集成电路和半导体分立器件的细微图加工、光电子领域平板显示的制作等领域。随着电子器件不断向高集成化和高速化方向发展，光刻胶的作用越来越重要。光刻胶一般是由成膜树脂、光致产酸剂、溶剂和添加剂组成，其中光致产酸剂是光刻胶的重要组分之一，对光刻胶的性能起决定性作用。[0003]三苯基硫鎓盐光致产酸剂作为常用的光刻胶离子型光致产酸剂中的一大类，其合成方法高度依赖于相应的双芳基亚砜底物。但此类双芳基亚砜底物的合成方法较为局限，采购价格昂贵；所以，开发一种廉价、便捷的双芳基亚砜的制备方法变得尤为重要。发明内容[0004]本发明实施例提供一种双芳基亚砜制备方法，从商业可得