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制备高纯纳米多晶硅颗粒的装置及制备高纯纳米多晶硅颗粒的方法.pdf
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韶敏****ab
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本发明涉及一种制备高纯纳米多晶硅颗粒的装置及制备高纯纳米多晶硅颗粒的方法,首先利用电子束熔炼法制备晶粒为纳米级别、疏松多孔的高纯气相沉积硅;然后行星式球磨机球磨气相沉积硅,获得纳米多晶硅颗粒;把纳米多晶硅颗粒与水混合,搅拌、超声沉淀去除较大颗粒;舍去沉淀在底部较大颗粒的硅泥,取上层悬浮液倒入离心管,置于高速离心机分离;把沉淀在离心管底部的硅颗粒置于真空干燥箱干燥,得到粒径小于500nm,且D50≤100nm的多晶硅颗粒,该方法解决了目前纳米硅颗粒结晶性差、纯度低的问题,提高了生产效率,制备的硅颗粒纯度高、
2023-06-11
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