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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN104280210104280210A(43)申请公布日2015.01.14(21)申请号201310287546.5(22)申请日2013.07.09(71)申请人上海和辉光电有限公司地址201500上海市金山区金山工业区大道100号1幢二楼208室(72)发明人黄政仕(74)专利代理机构隆天国际知识产权代理有限公司72003代理人李昕巍吕俊清(51)Int.Cl.G01M11/02(2006.01)权权利要求书2页利要求书2页说明书4页说明书4页附图3页附图3页(54)发明名称激光源的质量检测装置及其质量检测方法(57)摘要本公开提供一种激光源的质量检测装置及其质量检测方法,该质量检测装置用于检测该激光源是否为异常光源,该装置设于激光源的光束出口端,该装置包括:反射镜组,位于该激光源的出光范围内,接收来自该激光源的全部光束,该反射镜组包括至少一个反射镜,该激光源的出光在经过该反射镜组的反射后,在该光束出口端投射出与激光源的出光轮廓相同的反射光;及传感器,该光束出口端上限定出正常出光范围,该传感器设置在该正常出光范围的外周,当反射光超出该正常出光范围时,该传感器能够接收到该反射光,从而判断出激光源为异常光源。本公开能够及早发现光源的异常,从而提早预警,达到高效益的质量控制,降低人力耗损。CN104280210ACN10428ACN104280210A权利要求书1/2页1.一种激光源的质量检测装置,该激光源为正常光源或异常光源,该质量检测装置用于检测该激光源是否为异常光源,该装置设于激光源的光束出口端,该装置包括:反射镜组,位于该激光源的出光范围内,接收来自该激光源的全部光束,该反射镜组包括至少一个反射镜,该激光源的出光在经过该反射镜组的反射后,在该光束出口端投射出与激光源的出光轮廓相同的反射光;及传感器,该光束出口端上限定出正常出光范围,该传感器设置在该正常出光范围的外周,当反射光超出该正常出光范围时,该传感器能够接收到该反射光,从而判断出激光源为异常光源。2.如权利要求1所述的质量检测装置,其中,该正常出光范围与正常激光源经过该反射镜组反射后的光束位置一致。3.如权利要求1所述的质量检测装置,其中,该异常光源包括光波发散的光源及光波偏移的光源。4.如权利要求1所述的质量检测装置,其中,若该激光源为正常光源,则该反射光未超出该正常出光范围,该传感器不能接收到该反射光。5.如权利要求1所述的质量检测装置,其中,该反射镜组包括多个反射镜。6.如权利要求1所述的质量检测装置,其中,该反射镜组的穿透率和反射镜的数量能够根据该传感器的光能感应强度进行调整。7.如权利要求6所述的质量检测装置,其中,该反射镜组的反射镜具有低反射率和高透射率。8.如权利要求1所述的质量检测装置,其中,该传感器为光纤传感器,能够获取该异常光源中的微量光。9.如权利要求1所述的质量检测装置,其中,该传感器为光能感应传感器或热能感应传感器。10.如权利要求1所述的质量检测装置,还包括警报器,当该传感器感测到异常光源时,向该警报器发出信号,该警报器发出警报或停机信号。11.如权利要求1所述的质量检测装置,其中,该激光源为矩形光源,在该正常出光范围的两长边外侧各对称设有两个传感器。12.如权利要求11所述的质量检测装置,其中,该正常出光范围的两短边的外侧各设有一个传感器。13.如权利要求1所述的质量检测装置,其中,该激光源为圆形光源,该正常出光范围的圆周上均匀设置四个传感器。14.如权利要求1所述的质量检测装置,其中,该激光源为气体激光源。15.一种激光源质量检测方法,该激光源为正常光源或异常光源,该激光源质量检测方法用于检测该激光源是否为异常光源,该方法包括以下步骤:步骤1:在激光源的光束出口端设置反射镜组和传感器;步骤2:使待测激光源发光,该激光源的出光全部投射到该反射镜组上,被该反射镜组反射,并在该光束出口端投射出与该激光源的出光轮廓相同的反射光;及步骤3:若该反射光超出该光束出口端上限定的正常出光范围,则该传感器能够接收到该反射光,从而判断出该激光源为异常光源。2CN104280210A权利要求书2/2页16.如权利要求15所述的方法,其中,若该激光源为正常光源,则该反射光未超出该正常出光范围,该传感器不能接收到该反射光。17.如权利要求15所述的方法,还包括:步骤4:当该传感器感测经过该反射镜组反射的光后,向警报器发出该激光源为异常光源的信号,该警报器发出警报或停机信号。3CN104280210A说明书1/4页激光源的质量检测装置及其质量检测方法技术领域[0001]本公开总地涉及一种气体激光源的质量检测装置及其检测方法,具体而言,该装置及检测方法用于准分子激