一种基于微电极阵列制备无酶生物传感器的方法.pdf
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一种基于微电极阵列制备无酶生物传感器的方法.pdf
本发明公开了一种基于光刻蚀技术制备微电极阵列并修饰以导电基元及无机传感涂层制备电化学无酶传感器的制备方法,涉及高分子材料科学、光刻蚀技术、电化学传感器等领域。本发明中采用的光刻胶能够实现超高长径比微电极阵列的制备,在二维平面结构的基础上开发三维结构,大大增加涂层的比表面积,为制备高灵敏度电化学传感器奠定了基础,同时三维立体的微阵列结构提高了涂层表面的粗糙度,有利于传感涂层的有效负载。本发明中采用的原位电化学还原无机过渡金属纳米粒子的方法实现了具有电化学响应的无机传感涂层的制备,与导电微电极阵列具有协同作用
一种微电极阵列的制备方法.pdf
本发明提供了一种微电极阵列的制备方法,包括:制备基底;在基底上制备第一柔性绝缘衬底,并通过干法刻蚀的方法对第一柔性绝缘衬底进行图形化;在第一柔性绝缘衬底上制备金属电连接结构;在金属电连接结构上制备一介电层,并通过干法刻蚀的方法将介电层图形化,使得介电层包裹住第一柔性绝缘衬底;在介电层上制备第二柔性绝缘衬底,并在第二柔性绝缘衬底上制备微电极阵列的金属结构;在微电极阵列的金属结构上制备第三层柔性绝缘衬底,并通过干法刻蚀的方法制备出微电极阵列的轮廓,释放出金属刺激电极点及焊接点,其中焊接点的通孔位置被刻穿,暴露
一种柔性阵列微电极制备方法.pdf
本发明为一种柔性阵列微电极制备方法,该方法采用粘性柔性基底,以高导电性材料作为电极材质,采用基于软光刻的微电极涂覆工艺,达到亚毫米及以下尺寸,具体步骤是:先制作出具有电极图案的模具;再利用打孔器在电极图案的通道两端的圆形处进行打孔;将打孔后的模具放入离子键合机中,放置时使通道朝上,抽真空并等离子化;将导电油墨和稀释剂混合后放入超声波清洗机中超声震荡混合均匀,用针头与第二步中打孔器尺寸一样的注射器将稀释过的导电油墨从孔的一头注入,直到通道充满导电油墨;再加热后将模具从粘性柔性基底上撕下,并将粘性柔性基底两头
一种微电极制备方法及微电极.pdf
本发明实施例提供了一种微电极制备方法及微电极,其中一种微电极制备方法包括:建立三维微电极的几何模型;将所述几何模型切片分层,得到二维分层数据;采用所述二维分层数据制作菲林;采用所述菲林对涂有感光层的铜箔片进行曝光和化学蚀刻处理,得到多个层片;将多个所述层片按照预设顺序叠放并放入真空加热炉加热焊接,得到目标微电极。采用化学蚀刻的方式加工各层铜箔,可一次性蚀刻出不同形状的铜箔片,操作简便,加工效率高,成本低。
一种纳米支化微电极阵列器件及其制备方法和应用.pdf
本发明公开了一种纳米支化微电极阵列器件及其制备方法和应用。本发明通过结合水热生长和标准微加工的工艺,开发了一种独特的纳米支化微电极阵列,三维纳米支化结构具有高纵横比可以与心肌细胞形成紧密的耦合,减少信号泄露,同时可以在低电压下进行细胞电穿孔,获得高质量的细胞内信号。本发明所制备的纳米支化微电极阵列器件可以实现长时细胞内记录。高纵横比的纳米支化结构创造了紧密的细胞‑电极界面,允许多个位点的电穿孔,并延迟了电穿孔后细胞膜的封闭,从而延长了电极细胞内访问的时间,实现了长时细胞内记录。