一种尾气回收系统.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106268162A(43)申请公布日2017.01.04(21)申请号201510325792.4C01B7/07(2006.01)(2006.01)(22)申请日2015.06.12C01B3/50C01B3/52(2006.01)(71)申请人新特能源股份有限公司地址830011新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市乌鲁木齐国家级高新技术产业开发区（新市区）甘泉堡高新技术产业园(72)发明人夏祥剑黄彬叶冬梅张凯兴王瑞聪(74)专利代理机构北京天昊联合知识产权代理有限公司11112代理人罗建民邓伯英(51)Int.Cl.B01D53/00(2006.01)B01D53/18(2006.01)C01B33/107(2006.01)权利要求书3页说明书8页附图1页(54)发明名称一种尾气回收系统(57)摘要本发明提供一种尾气回收系统，用于回收来自上游工序的尾气，尾气包括氢气、氯化氢气体和氯硅烷气体，尾气回收系统包括尾气冷凝器、尾气分离单元、吸收塔、解析塔和吸收液冷凝器，其中吸收塔的底部输出的含有氯化氢的低温氯硅烷富液被分成两部分，其中第一部分含有氯化氢的低温氯硅烷富液与解析塔的底部输出的氯硅烷贫液混合后进入吸收液冷凝器，经过吸收液冷凝器的冷凝处理后进入吸收塔；其中第二部分含有氯化氢的低温氯硅烷富液与尾气分离单元分离出来的低温氯硅烷液体混合后进入解析塔，以实现吸收塔的底部输出的含有氯化氢的低温氯硅烷富液的部分自循环。本发明所述尾气回收系统既能实现低耗能又能减少氟利昂的用量，从而降低氟利昂泄露的风险。CN106268162ACN106268162A权利要求书1/3页1.一种尾气回收系统，用于回收来自上游工序的尾气，所述尾气包括氢气、氯化氢气体和氯硅烷气体，所述尾气回收系统包括尾气冷凝器、尾气分离单元、吸收塔、解析塔和吸收液冷凝器，其中，所述尾气冷凝器用于对所述尾气进行冷凝处理，以形成低温氯硅烷液体和氢气、氯化氢气体混合物，并输出至所述尾气分离单元，所述尾气分离单元用于对所述混合物进行气液分离处理，分离出来的氢气和氯化氢混合气输出至所述吸收塔，而分离出来的低温氯硅烷液体输出至所述解析塔，经所述解析塔的解析处理以形成氯硅烷贫液，并从所述解析塔的底部输出至所述吸收液冷凝器，所述吸收液冷凝器用于对所述氯硅烷贫液进行冷凝处理，以形成低温氯硅烷贫液，并输出至所述吸收塔，所述低温氯硅烷贫液以及所述氢气和氯化氢混合气经所述吸收塔的吸收处理以分别形成氢气和含有氯化氢的低温氯硅烷富液，且形成的氢气从所述吸收塔的顶部输出，形成的含有氯化氢的低温氯硅烷富液从所述吸收塔的底部输出，并与所述尾气分离单元输出的低温氯硅烷液体混合后进入所述解析塔，经所述解析塔的解析处理以分别形成氯化氢气体和氯硅烷贫液，且形成的氯化氢气体从所述解析塔的顶部输出，形成的氯硅烷贫液从所述解析塔的底部输出且经所述吸收液冷凝器的冷凝处理后再次进入所述吸收塔，如此循环往复从而对来自上游工序的尾气进行吸收解析循环处理，并分离出氢气和氯化氢气体，其特征在于，所述吸收塔的底部输出的含有氯化氢的低温氯硅烷富液被分成两部分，其中第一部分含有氯化氢的低温氯硅烷富液与所述解析塔的底部输出的氯硅烷贫液混合后进入所述吸收液冷凝器，经过所述吸收液冷凝器的冷凝处理后进入所述吸收塔，以实现所述吸收塔的底部输出的含有氯化氢的低温氯硅烷富液的部分自循环；其中第二部分含有氯化氢的低温氯硅烷富液与所述尾气分离单元分离出来的低温氯硅烷液体混合后进入所述解析塔。2.根据权利要求1所述的尾气回收系统，其特征在于，所述尾气回收系统还包括循环泵，所述循环泵用于对所述第一部分含有氯化氢的低温氯硅烷富液进行增压处理，以形成含有氯化氢的低温高压氯硅烷富液，并与所述解析塔的底部输出的氯硅烷贫液混合后进入所述吸收液冷凝器。3.根据权利要求1所述的尾气回收系统，其特征在于，所述第一部分含有氯化氢的低温氯硅烷富液与所述吸收塔的底部输出的含有氯化氢的低温氯硅烷富液的流量百分比为45％-60％；所述第二部分含有氯化氢的低温氯硅烷富液与所述吸收塔的底部输出的含有氯化氢的低温氯硅烷富液的流量百分比为40％-55％。4.根据权利要求1所述的尾气回收系统，其特征在于，所述第一部分含有氯化氢的低温氯硅烷富液被分成两部分，其中一部分含有氯化氢的低温氯硅烷富液与所述解析塔的底部输出的氯硅烷贫液混合后进入所述吸收液冷凝器，经过所述吸收液冷凝器的冷凝处理后进入所述吸收塔；其中另一部分含有氯化氢的低温氯硅烷富液进入所述尾气冷凝器的壳程输入端，从而对进入所述尾气冷凝器管程的尾气进行冷凝处理，并从所述尾气冷凝器的壳程输出端输出含有氯化氢的中温氯硅烷富液，与所述尾气分离单元分离出来的低温氯硅烷液体、所述吸收塔