使用比例式热流体输送系统的基板载具.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106663648A(43)申请公布日2017.05.10(21)申请号201580042920.2(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公司31(22)申请日2015.11.20100代理人侯颖媖(30)优先权数据14/555,4672014.11.26US(51)Int.Cl.H01L21/67(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日H01L21/3065(2006.01)2017.02.09H01J37/32(2006.01)(86)PCT国际申请的申请数据PCT/US2015/0620102015.11.20(87)PCT国际申请的公布数据WO2016/085826EN2016.06.02(71)申请人应用材料公司地址美国加利福尼亚州(72)发明人P·克里米诺儿J·斐D·A·马洛尔S·F·秀吉B·L·梅斯权利要求书2页说明书7页附图3页(54)发明名称使用比例式热流体输送系统的基板载具(57)摘要描述了一种基板载具，该基板载具使用比例式热流体输送系统。在一个示例中，装置包括热交换器，以向基板载具的流体通道提供热流体并且接收来自流体通道的热流体，流体通道中的热流体用以在基板处理期间控制载具的温度。比例阀控制从热交换器至流体通道的热流体的流速。温度控制器接收来自载具的热传感器的测得温度，且响应于该测得温度而控制比例阀以调整流速。CN106663648ACN106663648A权利要求书1/2页1.一种装置，包括：热交换器，用以向基板载具的流体通道提供热流体并且接收来自所述流体通道的所述热流体，所述流体通道中的所述热流体用以在基板处理期间控制所述载具的温度；比例阀，用以控制从所述热交换器至所述流体通道的所述热流体的流速；以及温度控制器，用以接收来自所述载具的热传感器的测得温度，且响应于所述测得温度而控制所述比例阀以调整所述流速。2.如权利要求1所述的装置，其中所述比例阀包括压力调节阀，所述装置进一步包括压力调节器，所述压力调节器耦接至所述压力调节阀以控制所述压力调节阀，所述压力调节器耦接至所述温度控制器。3.如权利要求2所述的装置，其中所述温度控制器向所述压力调节器提供模拟电压信号，且其中所述压力调节器响应于所述模拟电压而向所述压力调节阀提供流体压力以控制所述压力调节阀。4.如权利要求3所述的装置，其中所述模拟电压是无级的，且其中所述流体压力是无级的。5.如权利要求3所述的装置，其中所述流体是压缩干燥空气。6.如权利要求1所述的装置，其中所述比例阀包括第一腔室、所述第一腔室中的上部隔膜、第二腔室以及下部隔膜，所述第一腔室用以接收经调节的压力，所述上部隔膜响应于所述经调节的压力而移动，所述第二腔室用以接收所述热流体，且所述下部隔膜连接至所述上部隔膜以控制穿过所述下部腔室的所述热流体的所述流速。7.如权利要求6所述的装置，进一步包括压力传感器和流量计，所述流量计耦接至所述流体通道，且其中所述温度控制器响应于所述压力传感器和所述流体通道而控制所述比例阀。8.如权利要求6所述的装置，进一步包括压力调节器以向所述比例阀提供所述经调节的压力，所述压力调节器包括压缩干燥空气入口和耦接至所述比例阀的压缩干燥空气出口，所述压力调节器进一步在所述入口与所述出口之间包括电磁阀，以在所述出口处调节所述压缩干燥空气的压力。9.如权利要求1所述的装置，进一步包括第二热交换器以向所述流体通道提供第二热流体，且包括阀以确定是所述第一热交换器流体或是所述第二热交换器流体流向所述比例阀。10.如权利要求9所述的装置，其中所述第一热交换器提供冷的热流体，且所述第二热交换器提供热的热流体。11.如权利要求10所述的装置，其中所述第一热流体与所述第二热流体包括聚醚。12.如权利要求1所述的装置，其中所述载具包括多个不同的独立冷却通道以承载热流体，从而传递来自所述载具的热，每一流体通道包括相应的供应部和回流部，且其中所述装置包括比例阀以控制进入每一供应部的热流体的流速。13.一种工件处理系统，包括：等离子体腔室；等离子体源，用以在所述等离子体腔室中产生包含气体离子的等离子体；工件固持件，位于所述腔室中以在等离子体处理期间固持所述工件并控制所述工件的2CN106663648A权利要求书2/2页温度，所述工件固持件具有流体通道和温度传感器；热交换器，用以向所述工件固持件的所述流体通道提供热流体，且用以接收来自所述流体通道的所述热流体，所述流体通道中的所述热流体用以在基板处理期间控制载具的温度；比例阀，用以控制从所述热交换器至所述流体通道的所述热流体的流速；以及温度控制器，用以接收来自所述载具的热传感器的测得温度，且响应于所述测得温度而控制所述比例阀以调整所述流速。14.如权利要