基板载具及其硒化制程系统.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103311164A*(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103311164103311164A(43)申请公布日2013.09.18(21)申请号201210121515.8(22)申请日2012.04.24(30)优先权数据1011074332012.03.06TW(71)申请人绿阳光电股份有限公司地址中国台湾屏东县(72)发明人李适维林清儒锺青源林明弘黄伟民邱振海(74)专利代理机构深圳新创友知识产权代理有限公司44223代理人江耀纯(51)Int.Cl.H01L21/673(2006.01)H01L31/18(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书4页说明书4页附图4页附图4页(54)发明名称基板载具及其硒化制程系统(57)摘要本发明公开了一种基板载具用来运载多个背电极基板至一炉腔内，每一背电极基板上形成有一前趋物层，所述炉腔用来提供一制程气体以与所述前趋物层反应形成一光电转换层在每一背电极基板上，所述基板载具包括一耐热金属架体及一第一保护层。所述耐热金属架体具有多个承载槽，用来承载所述多个背电极基板。所述第一保护层形成在所述耐热金属架体上，用来防止所述耐热金属架体发生化学反应。透过基板载具具有耐热金属架体并在耐热金属架体上形成保护层的设计，所述基板载具可具有抗高温及抗特定气体反应腐蚀的特性。CN103311164ACN10364ACN103311164A权利要求书1/1页1.一种基板载具，用来运载多个背电极基板至一炉腔内，每一背电极基板上形成有一前趋物层，所述炉腔用来提供一制程气体以与所述前趋物层反应形成一光电转换层在每一背电极基板上，其特征在于，所述基板载具包括：一耐热金属架体，具有多个承载槽，所述多个承载槽用来承载所述多个背电极基板；及一第一保护层，形成在所述耐热金属架体上，用来防止所述耐热金属架体发生化学反应。2.如权利要求1所述的基板载具，其特征在于，所述第一保护层为一氧化层、一氮化层，或一硒化层。3.如权利要求1所述的基板载具，其特征在于，所述耐热金属架体在对应所述第一保护层之间形成有一第二保护层，且所述第二保护层由钼、钛、钽，或钨所组成。4.如权利要求3所述的基板载具，其特征在于，所述耐热金属架体由不锈钢所组成。5.如权利要求1所述的基板载具，其特征在于，所述耐热金属架体由钼、钛、钽，或钨所组成。6.一种硒化制程系统，包括：多个背电极基板，每一背电极基板上形成有一前趋物层；一炉腔，包括：一反应室；一气体输入管线，用来提供一制程气体至所述反应室内；及一加热装置，用来加热所述反应室以使所述制程气体与所述前趋物层反应形成一光电转换层在每一背电极基板上；及一基板载具，用来运载所述多个背电极基板至所述反应室内，其特征在于，所述基板载具包括：一耐热金属架体，具有对应所述多个背电极基板的多个承载槽，每一背电极基板分别置放在相对应的承载槽上；及一第一保护层，形成在所述耐热金属架体上，用来防止所述耐热金属架体与所述制程气体发生化学反应。7.如权利要求6所述的硒化制程系统，其特征在于，所述第一保护层为一氧化层、一氮化层，或一硒化层。8.如权利要求6所述的硒化制程系统，其特征在于，所述耐热金属架体在对应所述第一保护层之间形成有一第二保护层，所述第二保护层由钼、钛、钽，或钨所组成。9.如权利要求8所述的硒化制程系统，其特征在于，所述耐热金属架体由不锈钢所组成。10.如权利要求6述的硒化制程系统，其特征在于，所述耐热金属架体由钼、钛，或钽所组成。11.如权利要求6所述的硒化制程系统，其特征在于，所述前趋物层为一IB族与IIIA族化合物层。12.如权利要求6所述的硒化制程系统，其特征在于，所述制程气体为硒化氢或硫化氢气体。2CN103311164A说明书1/4页基板载具及其硒化制程系统技术领域[0001]本发明涉及一种基板载具及其硒化制程系统，特别涉及一种具有耐热金属架体且在其上形成有保护层的基板载具及其硒化制程系统。背景技术[0002]一般来说，在铜铟镓硒(CIGS)太阳能电池的量产制程上，常见用来形成铜铟镓硒/铜铟镓硒硫(CIGSS)吸收层的方法有二，一种为四元蒸镀法，另一种则是为硒化法。[0003]在硒化法中，用来运载太阳能电池的背电极基板至硒化炉中的基板载具通常由石英或陶瓷所组成，借此，基板载具就可以同时具有抗高温及抗特定气体(如硫气体等)反应腐蚀的特性。然而，由于石英与陶瓷价格昂贵且质脆易碎，因此，使用基板载具由石英或陶瓷所组成的设计不仅会提高太阳能电池在整体制程上所需的物料成本，同时也会容易出现基板载具在运载背电极基板的过程中因与其它制程组件相撞而产生结构碎裂的问题，进而影响太阳能电池的制程效能及造成不必要的损失。发明内容[0004]本发明