减振器气动控制装置及其控制方法以及减振器.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107781350A(43)申请公布日2018.03.09(21)申请号201610795171.7(22)申请日2016.08.31(71)申请人上海微电子装备（集团）股份有限公司地址201203上海市浦东新区张东路1525号(72)发明人刘赟朱岳彬(74)专利代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237代理人屈蘅李时云(51)Int.Cl.F16F15/027(2006.01)F15B13/02(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图2页(54)发明名称减振器气动控制装置及其控制方法以及减振器(57)摘要本发明提供了一种减振器气动控制装置及其控制方法以及减振器，所述减振器气动控制装置包括：喷嘴挡板式伺服阀，接收来自控制模块的第一控制信号并根据所述第一控制信号调整对减振器所支撑的负载施加的主动阻尼力；滑阀式伺服阀，接收来自所述控制模块的第二控制信号并根据所述第二控制信号调整减振器的位置。本发明同时使用喷嘴挡板式伺服阀和传统的滑阀式伺服阀对减振器进行控制，能够满足TFT光刻机中减振器对伺服阀快速性和大流量的要求，同时成本较低。CN107781350ACN107781350A权利要求书1/1页1.一种减振器气动控制装置，其特征在于，包括：喷嘴挡板式伺服阀，接收来自控制模块的第一控制信号并根据所述第一控制信号调整对所述减振器所支撑的负载施加的主动阻尼力；滑阀式伺服阀，接收来自所述控制模块的第二控制信号并根据所述第二控制信号调整所述减振器的位置，补偿支撑负载的基板台运动时重心变化引起的扰动。2.如权利要求1所述的减振器气动控制装置，其特征在于，所述控制模块包括负载加速度传感器、减振器位置传感器、基板台位置传感器、阻尼反馈控制器、位置反馈控制器和基板台前馈控制器，其中所述阻尼反馈控制器基于来自所述负载加速度传感器的负载加速度信号计算阻尼反馈控制信号，所述位置反馈控制器基于来自所述减振器位置传感器的减振器位置信号与位置设定值之间的差值计算减振器位置反馈控制信号，以及所述基板台前馈控制器基于基板台位置传感器测得的基板台位置信号计算基板台前馈控制信号。3.如权利要求2所述的减振器气动控制装置，其特征在于，所述第一控制信号包括阻尼反馈控制信号。4.如权利要求2所述的减振器气动控制装置，其特征在于，所述第二控制信号包括减振器位置反馈控制信号和基板台前馈控制信号。5.如权利要求2所述的减振器气动控制装置，其特征在于，所述第一控制信号包括阻尼反馈控制信号和减振器位置反馈控制信号。6.一种减振器气动控制方法，其特征在于，包括：提供一喷嘴挡板式伺服阀根据减振器所支撑的负载的加速度调整所述减振器对所述负载施加的主动阻尼力，提供一滑阀式伺服阀根据所述减振器的位置信息和支撑负载的基板台的位置信息调整减振器位置。7.一种减振器气动控制方法，其特征在于，包括：提供一喷嘴挡板式伺服阀根据减振器所支撑的负载的加速度和减振器的位置信息调整所述减振器对所述负载施加的主动阻尼力，提供一滑阀式伺服阀根据所述减振器的位置信息和支撑负载的基板台的位置信息调整减振器位置。8.一种减振器，其特征在于，包括如权利要求1～5中的任一项所述的减振器气动控制装置。9.如权利要求8所述的减振器，其特征在于，所述喷嘴挡板式伺服阀和所述滑阀式伺服阀的输出连接至所述减振器的同一气腔。10.如权利要求8所述的减振器，其特征在于，所述减振器包括至少两个气腔，所述喷嘴挡板式伺服阀和所述滑阀式伺服阀的输出分别连接至所述减振器内不同的气腔。2CN107781350A说明书1/5页减振器气动控制装置及其控制方法以及减振器技术领域[0001]本发明涉及光刻机技术领域，特别涉及一种减振器气动控制装置及其控制方法以及减振器。背景技术[0002]基板台是TFT(薄膜场效应晶体管)光刻机中的关键组成部分，主要用于承载加工液晶面板的基板。为了降低地面振动的影响，基板台一般安装在减振器支撑的内部框架上。在这种情况下，减振器除了隔离地基振动外，还必须快速补偿基板台运动时重心变化引起的减振器位置波动，缩短位置波动的稳定时间，以便于进行基板交接，确保光刻机的产率。随着液晶面板尺寸的不断增加，基板台的尺寸、质量、速度也在不断增加，比如TFT6G光刻机中，基板台的运动质量已经超过1000kg。运动质量的不断增加，使得对对减振器的要求也越来越高。[0003]TFT光刻机中减振器支撑的负载(例如，基板台、或基板台与基板)的质量一般均达到数十吨，所以减振器普遍采用气动执行器支撑负载，同时进行主动控制(位置反馈控制、阻尼反馈控制、基板台前馈控制等)。图1示出了现有的气动执行器100的结构示意图。如图1所示，气动执行器100由气腔2和伺服阀1组成，