一种晶圆预对准装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115831846A(43)申请公布日2023.03.21(21)申请号202310113020.9(22)申请日2023.02.15(71)申请人河北博特半导体设备科技有限公司地址065201河北省廊坊市三河市燕郊开发区汉王路1号申请人北京柯泰光芯半导体装备技术有限公司(72)发明人张琦(74)专利代理机构北京鼎拓恒远知识产权代理事务所(普通合伙)16098专利代理师杨玉廷(51)Int.Cl.H01L21/68(2006.01)H01L21/67(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图4页(54)发明名称一种晶圆预对准装置(57)摘要本申请提供一种晶圆预对准装置，包括：平台，平台设有安装面，安装面上设有安装位；台芯，台芯具有第一轴线且与安装位同轴设置，台芯与平台绕第一轴线转动连接、且沿第一方向滑动连接，第一方向垂直于安装面；限位机构，用于将晶圆与安装位同心对准，限位机构包括若干安装在安装面且沿台芯径向方向滑动连接的滑销、用于同时带动所有滑销移动的驱动盘和用于驱动驱动盘旋转的第一驱动装置；第二驱动装置，用于驱动台芯绕第一轴线旋转；驱动组件，用于驱动台芯沿第一方向滑动；检测机构，检测机构设置在安装面上，用于检测到晶圆的缺口或切边之后控制第二驱动装置停止工作。本申请提供的晶圆预对准装置具有操作简便，预对准效率高的优点。CN115831846ACN115831846A权利要求书1/2页1.一种晶圆预对准装置，其特征在于，包括：平台（1），所述平台（1）设有安装面，所述安装面上设有安装位；台芯（2），所述台芯（2）具有第一轴线且与所述安装位同轴设置，所述台芯（2）与所述平台（1）绕所述第一轴线转动连接、且沿第一方向滑动连接，所述第一方向垂直于所述安装面；限位机构，用于将所述晶圆与所述安装位同心对准，所述限位机构包括若干安装在所述安装面且沿所述台芯（2）径向方向滑动连接的滑销（3）、用于同时带动所有所述滑销（3）移动的驱动盘（4）和用于驱动所述驱动盘（4）旋转的第一驱动装置（5）；第二驱动装置（6），用于驱动所述台芯（2）绕所述第一轴线旋转；驱动组件，用于驱动所述台芯（2）沿所述第一方向滑动；检测机构，所述检测机构设置在所述安装面上，用于检测到晶圆的缺口或切边之后控制所述第二驱动装置（6）停止工作。2.根据权利要求1所述的晶圆预对准装置，其特征在于，所述限位机构还包括若干滑槽（7），所述若干滑槽（7）开设在所述安装面上且沿所述台芯（2）的周侧均匀排列设置，其中，所述滑槽（7）对应所述滑销（3）设置，所述滑销（3）与所述滑槽（7）滑动连接。3.根据权利要求2所述的晶圆预对准装置，其特征在于，所述驱动盘（4）上具有对应所述滑槽（7）设置的若干条弧形导向槽（8），所述导向槽（8）与对应的所述滑销（3）滑动连接、且与对应的所述滑槽（7）在所述安装面上的投影相交，所述弧形的凹侧朝向所述第一轴线设置。4.根据权利要求1所述的晶圆预对准装置，其特征在于，所述检测机构包括：夹具底座（9），所述夹具底座（9）嵌设在所述安装位的边缘处；夹具本体（10），所述夹具本体（10）连接所述夹具底座（9）且悬置在所述夹具底座（9）上方；光纤传感器（11），所述光纤传感器（11）的发射端和接收端分别安装在所述夹具底座（9）和所述夹具本体（10）上，用于检测晶圆的缺口或者切边的位置。5.根据权利要求1所述的晶圆预对准装置，其特征在于，所述驱动组件包括滑轨（12）、与所述第二驱动装置（6）固定连接的滑座（13）和用于驱动所述滑座（13）在所述滑轨（12）上沿平行于所述第一方向滑动的第三驱动装置（14）。6.根据权利要求1所述的晶圆预对准装置，其特征在于，所述台芯（2）顶面开设有若干气槽（15）、且台芯（2）主体沿轴向开设有导气孔（16），所述导气孔（16）一端与所述气槽（15）连通，另一端与外部吸气设备连通。7.根据权利要求1所述的晶圆预对准装置，其特征在于，还包括限位块（17）和限位传感器（18），所述限位块（17）安装在所述驱动盘（4）上，所述限位传感器（18）与所述第一驱动装置（5）电连接，用于接触所述限位块（17）之后控制所述第一驱动装置（5）停止工作。8.根据权利要求1所述的晶圆预对准装置，其特征在于，还包括齿形带（19）和张力传感器（20），所述齿形带（19）用于所述第一驱动装置（5）和所述驱动盘（4）之间的传动，所述张力传感器（20）与所述第一驱动装置（5）电连接，用于测量所述齿形带（19）的张力值大于设定范围时控制所述第一驱动装置（5）转动。9.根据权利要求1所述的晶圆预对准装置，其特征在于，所述安装位上设有与所述台芯2CN115831846A权利要求书2/2页（2）同轴的观察线（21