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一种预调节晶圆位置的对准装置.pdf

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本实用新型公开了一种预调节晶圆位置的对准装置,具体涉及半导体制造技术领域,通过上述感应组件检测晶圆片的位置信息,并将位置信息传输给与上述感应组件相连的控制器,上述控制器将接收到的位置信息后,与上述控制器预先存储的晶圆片的正确位置信息进行比对,如果出现位置偏差,上述控制器与驱动装置相连,上述驱动装置根据控制器的控制指令控制机械臂的移动方向,直至与晶圆片移动的正确路径一致时,此时,上述感应组件感应晶圆片的位置信息与控制器预先存储的晶圆片的正确位置信息一致,实现上述机械臂将晶圆片固定于正确位置。