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本发明公开了一种射频离子源中和器,将保持电极下陷进入了陶瓷杯内部形成了良好的对发射电极电场,从而对电子有更好的抽出效率和对离子有更好的吸附效率,可提高电子抽出效率15%左右,包括保持电极(1)、发射电极(3)、陶瓷杯(4)、发射线圈(5)、绝缘充气头(6)、RF电源(7)、保持电极绝缘陶瓷(8)、接地壳体(10),所述保持电极(1)下陷进入陶瓷杯(4)内部,在保持电极(1)下陷于陶瓷杯(4)内部部分的外周上套设在绝缘环(2),在保持电极(1)下陷端的中部设置有保持电极中心小孔(9)。