一种射频离子源中和器.pdf
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一种射频离子源中和器.pdf
本发明公开了一种射频离子源中和器,将保持电极下陷进入了陶瓷杯内部形成了良好的对发射电极电场,从而对电子有更好的抽出效率和对离子有更好的吸附效率,可提高电子抽出效率15%左右,包括保持电极(1)、发射电极(3)、陶瓷杯(4)、发射线圈(5)、绝缘充气头(6)、RF电源(7)、保持电极绝缘陶瓷(8)、接地壳体(10),所述保持电极(1)下陷进入陶瓷杯(4)内部,在保持电极(1)下陷于陶瓷杯(4)内部部分的外周上套设在绝缘环(2),在保持电极(1)下陷端的中部设置有保持电极中心小孔(9)。
射频中和器的功率调整方法、装置和射频中和器设备.pdf
本申请涉及一种射频中和器的功率调整方法、装置和射频中和器设备;所述方法包括:获取射频中和器工作时的当前发射极电流值以及待调整的目标发射极电流值,并确定所需调整的电流变化量;获取射频中和器当前工作的第一射频功率值以及在调整到目标发射极电流值下所匹配的第二射频功率值,并确定所需调整的射频功率变化量;根据预设的电流调整步长值计算射频中和器的发射极电流的调整时间,并计算射频功率调整的功率调整步长值;在调整射频中和器的发射极电流过程中,依据功率调整步长值将射频功率调整至第二射频功率值;该技术方案,实现了发射极电流和
一种射频离子源.pdf
本发明涉及一种射频离子源,属于等离子体应用技术领域,所述射频离子源包括石英管、缠绕在石英管外壁上的铜管和用于屏蔽射频电场的屏蔽罩,所述石英管和缠绕在石英管外壁上的铜管置于屏蔽罩内,所述石英管上端设有进气口,石英管下端设有离子喷射口,所述铜管两端与射频电源两端连接,所述屏蔽罩底部中心位置设有用于通过等离子体的通孔,本发明有益效果为屏蔽罩把射频电场与腔体隔绝,阻止腔体放电现象。
一种空心阴极离子源中和器钽管绝缘件结构.pdf
本发明公开了一种空心阴极离子源中和器钽管绝缘件结构,利用在空心阴极钽管的反应部外壁上额外增加一段绝缘距离,使空心阴极钽管和keeper壳体有效放电面积减小,进而能够使使空心阴极中和器点火工作能量全部作用在空心阴极钽管端口处,从而使点火引弧需要的能量降低,气体需求量也降低,包括keeper壳体(1)、空心阴极钽管(2)及绝缘小陶瓷件(3),在空心阴极钽管(2)的近绝缘小陶瓷件(3)的外壁上还设置有钽管绝缘管(4),在钽管绝缘管(4)上设置有凹槽(5)。
微型射频等离子体阴极中和器的设计与试验研究.docx
微型射频等离子体阴极中和器的设计与试验研究摘要:射频等离子体阴极中和器被广泛应用于等离子体物理、离子源和等离子体工程领域。本论文通过设计和试验研究,研究了微型射频等离子体阴极中和器的特性和性能,包括电极结构设计、射频功率调制和等离子体参数测量等。实验结果表明,设计的微型射频等离子体阴极中和器具有良好的中和效果和稳定性,可广泛应用于等离子体物理研究和离子源工程。关键词:微型射频等离子体阴极中和器、射频功率调制、等离子体参数测量、中和效果、稳定性1.引言射频等离子体阴极中和器是一种用于中和等离子体阴极产生的离