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一种空心阴极离子源中和器钽管绝缘件结构.pdf

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本发明公开了一种空心阴极离子源中和器钽管绝缘件结构,利用在空心阴极钽管的反应部外壁上额外增加一段绝缘距离,使空心阴极钽管和keeper壳体有效放电面积减小,进而能够使使空心阴极中和器点火工作能量全部作用在空心阴极钽管端口处,从而使点火引弧需要的能量降低,气体需求量也降低,包括keeper壳体(1)、空心阴极钽管(2)及绝缘小陶瓷件(3),在空心阴极钽管(2)的近绝缘小陶瓷件(3)的外壁上还设置有钽管绝缘管(4),在钽管绝缘管(4)上设置有凹槽(5)。