射频中和器的功率调整方法、装置和射频中和器设备.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114337701A(43)申请公布日2022.04.12(21)申请号202111638917.0(22)申请日2021.12.29(71)申请人中山市博顿光电科技有限公司地址528400广东省中山市火炬开发区科技东路39号之二219、220室申请人佛山市博顿光电科技有限公司(72)发明人冀鸣蔡雁萍刘伟基梁伟明赵刚易洪波(74)专利代理机构广州市律帆知识产权代理事务所(普通合伙)44614代理人余永文(51)Int.Cl.H04B1/04(2006.01)H01J37/08(2006.01)H01J37/30(2006.01)权利要求书2页说明书8页附图3页(54)发明名称射频中和器的功率调整方法、装置和射频中和器设备(57)摘要本申请涉及一种射频中和器的功率调整方法、装置和射频中和器设备；所述方法包括：获取射频中和器工作时的当前发射极电流值以及待调整的目标发射极电流值，并确定所需调整的电流变化量；获取射频中和器当前工作的第一射频功率值以及在调整到目标发射极电流值下所匹配的第二射频功率值，并确定所需调整的射频功率变化量；根据预设的电流调整步长值计算射频中和器的发射极电流的调整时间，并计算射频功率调整的功率调整步长值；在调整射频中和器的发射极电流过程中，依据功率调整步长值将射频功率调整至第二射频功率值；该技术方案，实现了发射极电流和射频功率的同步匹配调整，保证了射频中和器输出稳定而不灭掉，提升了离子源使用的稳定性。CN114337701ACN114337701A权利要求书1/2页1.一种射频中和器的功率控制方法，其特征在于，包括：获取射频中和器工作时的当前发射极电流值以及待调整的目标发射极电流值，并根据所述当前发射极电流值与目标发射极电流值确定所需调整的电流变化量；获取射频中和器当前工作的第一射频功率值以及在调整到所述目标发射极电流值下所匹配的第二射频功率值，并根据所述第一射频功率值与第二射频功率值确定所需调整的射频功率变化量；根据预设的电流调整步长值计算射频中和器的发射极电流的调整时间，并根据所述调整时间和射频功率变化量计算射频功率调整的功率调整步长值；在调整射频中和器的发射极电流过程中，依据所述功率调整步长值将射频中和器的射频功率调整至所述第二射频功率值。2.根据权利要求1所述的射频中和器的功率控制方法，其特征在于，根据所述当前发射极电流值与目标发射极电流值确定所需调整的电流变化量，包括：ΔI＝I2‑I1式中，ΔI为所需调整的电流变化量，I1为当前发射极电流值，I2为目标发射极电流值。根据所述第一射频功率值与第二射频功率值确定所需调整的射频功率变化量，包括：ΔW＝W2‑W1式中，ΔW为所需调整的射频功率变化量，W为第一射频功率值，W2为第二射频功率值。3.根据权利要求2所述的射频中和器的功率控制方法，其特征在于，根据预设的电流调整步长值计算射频中和器的发射极电流的调整时间，包括：式中，T为发射极电流的调整时间，Is为预设的电流调整步长值。4.根据权利要求3所述的射频中和器的功率控制方法，其特征在于，根据所述调整时间和射频功率变化量计算射频功率调整的功率调整步长值，包括：式中，Ws为射频功率调整的功率调整步长值。5.根据权利要求1所述的射频中和器的功率控制方法，其特征在于，在调整射频中和器的发射极电流过程中，依据所述功率调整步长值将射频中和器的射频功率调整至所述第二射频功率值，包括：在所述调整时间内，按照所述预设的电流调整步长值在每个调整时刻点设置所述当前发射极电流值，直至达到所述目标发射极电流值，以及按照所述功率调整步长值在每个调整时刻点设置所述第一射频功率值，直至达到所述第二射频功率值。6.根据权利要求1所述的射频中和器的功率控制方法，其特征在于，获取射频中和器在调整到所述目标发射极电流值下所匹配的第二射频功率值，包括：获取发射极电流与其所匹配的射频功率的最小关系曲线和最大关系曲线；根据所述最小关系曲线和最大关系曲线确定所述目标发射极电流值对应的射频功率范围值；从所述射频功率范围值中选择所述第二射频功率值。2CN114337701A权利要求书2/2页7.根据权利要求1所述的射频中和器的功率控制方法，其特征在于，还包括：分别以不同的步长值调整射频中和器的发射极电流；检测所述射频中和器的实时工作状态；根据所述发射极电流及所述实时工作状态，确定所述射频中和器的发射极电流的电流调整步长阈值，作为所述预设的电流调整步长值。8.根据权利要求1所述的射频中和器的功率控制方法，其特征在于，还包括：判断所述功率调整步长值是否大于最大功率调整步长阈值，若超过，根据所述最大功率调整步长阈值计算修正电流调整步长值，作为调整所述射频中和器的发射极电流的电流调整步长值。9