基板处理方法、基板处理装置、半导体器件的制造方法及记录介质.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115831833A(43)申请公布日2023.03.21(21)申请号202210150202.9(22)申请日2022.02.18(30)优先权数据2021-1521222021.09.17JP(71)申请人株式会社国际电气地址日本东京都(72)发明人吉野晃生大桥直史越卷寿朗(74)专利代理机构北京市金杜律师事务所11256专利代理师陈伟沈静(51)Int.Cl.H01L21/677(2006.01)G01H17/00(2006.01)权利要求书3页说明书16页附图10页(54)发明名称基板处理方法、基板处理装置、半导体器件的制造方法及记录介质(57)摘要本发明提供一种获得以进行搬送基板的搬送装置的异常和故障检测为目的的基板处理方法、基板处理装置、半导体器件的制造方法及记录介质。基板处理装置具有：搬送基板的搬送机器人；具有搬送机器人的搬送室；处理基板的处理室；接收搬送机器人的振动信息的振动信息接收部；接收搬送机器人的声音信息的声音信息接收部；以及构成为能够控制各结构的控制部。CN115831833ACN115831833A权利要求书1/3页1.一种基板处理方法，其特征在于，具有如下工序：异常检测工序，在该异常检测工序中，拾取从搬送基板的搬送装置产生的声音，对声音数据的波形与预先设定的阈值进行比较而检测所述搬送装置的异常；和故障检测工序，在该故障检测工序中，拾取所述搬送装置的振动，对振动数据的波形与预先设定的阈值进行比较而检测所述搬送装置的故障。2.一种基板处理装置，其特征在于，具有：处理基板的处理室；搬送所述基板的搬送装置；内置所述搬送装置的搬送室；接收从所述搬送装置产生的声音信息的声音信息接收部；接收从所述搬送装置产生的振动信息的振动信息接收部；异常检测部，其对接收到的所述声音信息的波形与预先设定的阈值进行比较而检测所述搬送装置的异常；以及故障检测部，其对接收到的所述振动信息的波形与预先设定的阈值进行比较而检测所述搬送装置的故障。3.根据权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于，所述搬送室是真空搬送室，在所述真空搬送室配置有能够在真空中动作的所述搬送装置即真空搬送装置。4.根据权利要求3所述的基板处理装置，其特征在于，在所述真空搬送装置设置有气体填充容器，该气体填充容器在内部设置有麦克风，并且在内部填充有气体，能够利用所述声音信息接收部接收由所述麦克风检测到的声音信息。5.根据权利要求3所述的基板处理装置，其特征在于，在所述真空搬送装置的可动部设置有检测振动的传感器，能够利用所述振动信息接收部接收由所述传感器检测到的振动信息。6.根据权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于，所述搬送室是大气搬送室，在所述大气搬送室中配置有能够在大气中动作的所述搬送装置。7.根据权利要求6所述的基板处理装置，其特征在于，在所述搬送装置设置有收集声音信息的麦克风，所述麦克风配置于所述搬送装置的周围，以接收所述搬送装置的可动部的声音，能够利用所述声音信息接收部接收由所述麦克风收集到的声音信息。8.根据权利要求6所述的基板处理装置，其特征在于，在所述搬送装置设置有检测振动的传感器，所述检测振动的传感器配置于所述搬送装置的可动部，能够利用所述振动信息接收部接收由所述传感器检测到的振动信息。9.根据权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于，具有：供流体流动的配管；2CN115831833A权利要求书2/3页接收所述配管的声音信息的声音信息接收部；以及接收所述配管的振动信息的振动信息接收部。10.根据权利要求9所述的基板处理装置，其特征在于，所述流体包括冷却水、处理气体和吹扫气体中的任一种。11.根据权利要求9所述的基板处理装置，其特征在于，所述配管与包括流量计、阀、凸缘的接头连接，能够使所述流体流动。12.根据权利要求11所述的基板处理装置，其特征在于，所述配管的所述声音信息接收部能够配置于与包括所述流量计、所述阀、所述凸缘的接头连接的部分、进行了弯曲加工的所述配管的给流体的流动造成影响的部分的周围。13.根据权利要求11所述的基板处理装置，其特征在于，所述配管的所述振动信息接收部能够配置于与包括所述流量计、所述阀、所述凸缘的接头连接的部分、进行了弯曲加工的所述配管的给所述流体的流动造成影响的部分的周围。14.根据权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于，该基板处理装置还具有分析部，该分析部分析由所述振动信息接收部接收到的所述振动信息和由所述声音信息接收部接收到的所述声音信息。15.根据权利要求14所述的基板处理装置，其特征在于，还具有能够控制所述基板处理装置的各结构的控制部，所述控制部在所述分析部所分析的所述声音信息是异常值的情况下，对显示部指示显示所述搬送装置或所述配管的异常状态。