划片机上下料装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114121744A(43)申请公布日2022.03.01(21)申请号202111381165.4(22)申请日2021.11.20(71)申请人江苏京创先进电子科技有限公司地址215500江苏省苏州市常熟市常熟经济技术开发区海城路2号9幢(72)发明人胡章坤蔡国庆于光明(74)专利代理机构北京维正专利代理有限公司11508代理人王文彬(51)Int.Cl.H01L21/677(2006.01)H01L21/66(2006.01)B23K26/38(2014.01)B23K26/402(2014.01)权利要求书1页说明书4页附图5页(54)发明名称划片机上下料装置(57)摘要本申请公开了一种划片机上下料装置，涉及精密切割划片设备技术领域，包括支撑架，所述支撑架上设有壳体，所述壳体一侧设有开口，所述壳体内部通过隔板隔开后设置有检测层和解胶层，所述检测层包括滑动板，所述滑动板能够在隔板上滑动，所述滑动板上方设于用于放置晶圆片的圆环。本申请通过在壳体中设置检测层，将切割后的晶圆片直接送入检测层，再通过滑动板将切割后的晶圆片从壳体的另一侧抽出送至检测处检测，简化了机械手将切割好的晶圆片先送入料盒，再通过工作人员从料盒中取出切割好的晶圆片送去检测的过程，提高了切割效率。CN114121744ACN114121744A权利要求书1/1页1.一种划片机上下料装置，包括支撑架（3），其特征是：所述支撑架（3）上设有壳体（2），所述壳体（2）一侧设有开口，所述壳体（2）内部设有检测层（21）和解胶层（22），所述检测层（21）与解胶层（22）间通过隔板（23）隔开，所述检测层（21）包括滑动板（211），所述滑动板（211）能够在隔板（23）上滑动，所述滑动板（211）上方设于用于放置晶圆片的圆环（213）。2.根据权利要求1所述的划片机上下料装置，其特征是：所述圆环（213）通过凸台（212）固定在所述滑动板（211）上，所述滑动板（211）侧壁设有挡板（214），所述滑动板（211）上表面在远离壳体（2）开口端设有用于定位晶圆片的第一限位板（218），所述第一限位板（218）设置在圆环（213）外侧，所述滑动板（211）靠近限位板（218）一端设有握把（215）。3.根据权利要求1所述的划片机上下料装置，其特征是：所述滑动板（211）下表面设有滑轨（216），所述隔板（23）上表面设有与滑轨（216）相配合的导轨（217）。4.根据权利要求1所述的划片机上下料装置，其特征是：所述解胶层（22）内设有灯室（224），所述灯室（224）设有紫外线灯管（223），所述灯室（224）上壁设为载物板（221），所述载物板（221）上设有透光孔（222），所述载物板（221）上设有用于定位解胶层（22）内晶圆盘的第二限位板（225）。5.根据权利要求1所述的划片机上下料装置，其特征是：所述壳体（2）上部设有料盒放置槽（26），所述料盒放置槽（26）包括料盒放置板（24），所述料盒放置板（24）能够在所述壳体（2）上转动，所述壳体（2）的侧壁上设有用于支撑料盒放置板（24）的限位块（241）。6.根据权利要求5所述的划片机上下料装置，其特征是：所述料盒放置板（24）下表面设有支撑杆（242），所述支撑杆（242）一端转动连接在料盒放置板（24）上，所述支撑杆（242）另一端转动连接在壳体（2）侧壁上。7.根据权利要求1所述的划片机上下料装置，其特征是：所述壳体（2）在与开口侧相对的一侧设有活动板（25），所述活动板（25）可在壳体（2）上转动。8.根据权利要求7所述的划片机上下料装置，其特征是：所述活动板（25）上设有碰珠（252），所述壳体（2）侧壁设有与碰珠（252）相配合的卡扣（251）。9.根据权利要求1所述的划片机上下料装置，其特征是：所述支撑架（3）一侧设有升降机构（1），所述升降机构（1）包括底座（11），所述底座（11）上设有伺服电机（13），所述底座（11）上设有背板（12），所述背板（12）上下两端均设有安装块（121），所述安装块（121）之间设有丝杆（14），所述丝杆（14）通过轴承与安装块（121）转动连接，所述丝杆（14）下端伸出安装块（121）部分键连接有链轮（15），所述链轮（15）与伺服电机（13）通过链条连接。10.根据权利要求9所述的划片机上下料装置，其特征是：所述背板（12）上设有与丝杆（14）平行设置的滑杆（16），所述丝杆（14）与滑杆（16）上套装有移动架（17），所述支撑架（3）与所述移动架（17）固定连接。2CN114121744A说明书1/4页划片机上下料装置技术领域[0001]本申请涉及精密切割划片设备技术领域，特别涉及