一种划片机.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114953226A(43)申请公布日2022.08.30(21)申请号202210583385.3(22)申请日2022.05.25(71)申请人河北圣昊光电科技有限公司地址050000河北省石家庄市高新区长江大道315号创新大厦21楼A3(72)发明人张文杰张智峰张一暾温子勋马修远刘亚洲(74)专利代理机构北京三聚阳光知识产权代理有限公司11250专利代理师柴美娟(51)Int.Cl.B28D5/04(2006.01)B28D5/00(2006.01)权利要求书2页说明书11页附图13页(54)发明名称一种划片机(57)摘要本发明提供的划片机，属于晶圆划切技术领域，包括：承载支架；底座组件，设置在所述承载台上；所述底座组件具有适于放置晶圆的工作平台，所述工作平台可相对于所述承载台在水平面做横向运动、竖向运动和旋转运动；支撑架；所述升降装置带动所述划刀在竖直方向上进行移动；所述升降装置包括：升降支撑座；主动凸轮；所述主动凸轮的一端与减速电机连接；所述减速电机带动所述主动凸轮发生转动；从动件，一端与所述主动凸轮抵接，另一端通过连接板与划刀连接；本发明的划片机，通过底座组件带动工作平台做横向运动、竖向运动和旋转运动，调整待切割晶圆的相对位置，实现划刀和待切割晶圆的相对位置的对齐，保证精准切割，降低失败率。CN114953226ACN114953226A权利要求书1/2页1.一种划片机，其特征在于，包括：承载支架，具有承载台；底座组件，设置在所述承载台上；所述底座组件具有适于放置晶圆的工作平台，所述工作平台可相对于所述承载台在水平面做横向运动、竖向运动和旋转运动；支撑架，设置在承载台上；所述支撑架上通过升降装置安装有划刀；所述升降装置带动所述划刀在竖直方向上进行移动；所述升降装置包括：升降支撑座，设置在所述支撑架上；主动凸轮，转动设置在所述升降支撑座上；所述主动凸轮的一端与减速电机连接；所述减速电机带动所述主动凸轮发生转动；从动件，一端与所述主动凸轮抵接，另一端通过连接板与划刀连接。2.根据权利要求1所述的划片机，其特征在于，在所述连接板上通过固定板连接有俯仰调节装置，所述划刀安装在所述俯仰调节装置上；所述俯仰调节装置包括：俯仰安装座；俯仰滑板，与俯仰安装座固定连接；所述俯仰滑板具有弧形的滑动面；俯仰滑动块，一端与划刀连接；所述俯仰滑动块具有与所述俯仰滑动面滑动连接的弧形的配合面。3.根据权利要求2所述的划片机，其特征在于，在所述俯仰调节装置和划刀之间设置有旋转调节装置；所述旋转调节装置包括：旋转安装座，安装在所述固定板上；传动结构，具有成角度设置的连接轴和转动轴；所述连接轴的一端与划刀连接，另一端与转动轴连接；调节结构，具有旋转驱动件；所述旋转驱动件适于与所述转动轴远离所述连接轴的一端抵接；所述旋转驱动件驱动所述转动轴发生摆动，带动所述连接轴发生转动。4.根据权利要求3所述的划片机，其特征在于，所述调节结构包括：第一调节件，设置在旋转安装座上；所述第一调节件具有相对于所述旋转安装座伸缩设置的第一旋转驱动件；第二调节件，与所述第二调节件相对的设置在旋转安装座上；所述第二调节件具有相对于所述旋转安装座伸缩设置的第二旋转驱动件。5.根据权利要求3所述的划片机，其特征在于，在所述旋转安装座上安装压力调节装置；所述压力调节装置包括：导向块，通过旋转轴转动安装在旋转安装座上；所述划刀安装在所述导向块的一端；压力调节驱动件，驱动端与所述旋转轴连接；所述压力调节驱动件带动所述旋转轴进行转动，改变所述划刀与晶圆接触时施加的抵接力；配重块，与所述旋转轴连接；所述导向块与所述配重块分别设置在所述旋转轴的两侧。6.根据权利要求5所述的划片机，其特征在于，还包括：拨杆，一端与所述旋转轴呈角度连接，另一端与压力调节驱动件连接；所述压力调节驱动件通过传动结构与所述拨杆连接；所述传动结构将压力调节驱动件的旋转运动转换成直2CN114953226A权利要求书2/2页线运动。7.根据权利要求6所述的划片机，其特征在于，还包括：张力计，通过传动结构与所述压力调节驱动件的驱动端连接；所述张力计具有阻挡杆；所述阻挡杆设置在所述拨杆旋转方向的前端。8.根据权利要求1所述的划片机，其特征在于，所述底座组件包括：第一安装板，通过第一移动滑台可滑动的设置在承载台上；第一驱动装置，驱动端与所述第一安装板连接，用于驱动所述第一安装板进行滑动；第二安装板，通过第二移动滑台可滑动的连接在所述第一安装板上；第二驱动装置，驱动端与所述第二安装板连接，用于驱动所述第二安装板进行滑动；第三安装板，设置在第二安装板的上端；所述第三安装板上转动设置有工作平台；所述工作平台以自身的中心做旋转运动；第三驱动装置，驱动端通过传动结构与工作平