内容提供者
一种ITO靶材与Mo背板的焊接方法.pdf
2023-05-21
10金币
289KB
11页
一只****呀9
实名认证
内容提供者
1/10
2/10
3/10
4/10
5/10
6/10
7/10
8/10
9/10
10/10
亲，该文档总共11页，到这已经超出免费预览范围，如果喜欢就直接下载吧～
相关资料
一种ITO靶材与Mo背板的焊接方法.pdf
本发明涉及一种ITO靶材与Mo背板的焊接方法,所述焊接方法包括如下步骤:(1)ITO靶材与Mo背板分别升温至目标温度;(2)维持ITO靶材与Mo背板的温度不变,对ITO靶材的焊接面以及Mo背板的焊接面进行浸润;(3)于Mo背板的焊接面形成焊料槽,并在焊料槽中添加熔融的焊料,将ITO靶材与焊料槽贴合设置;(4)ITO靶材的表面设置缓冲层,施加压力过程中自然降温,完成ITO靶材与Mo背板的焊接。本发明提供的焊接方法,ITO靶材与Mo背板在焊接过程中不易变形,且焊接结合率高,提高了ITO靶材与背板的焊接质量,保
2023-05-21
10
289KB
铜背板与靶材的焊接方法.pdf
本发明提供一种铜背板与靶材的焊接方法，包括以下步骤：将铜背板、靶材放入包套中，包套设有通气管；将包套放入炉中，通过通气管对包套进行抽真空；待包套内部达到一定真空度后，使炉的温度升高到一定温度，并使炉持续保温一段时间，在炉的保温期间，依然对包套进行抽真空；密封包套的通气管；对内部设置有铜背板、靶材的包套进行热等静压焊接以使铜背板与靶材焊接在一起。在对包套进行抽真空的过程中，使包套持续置于高温环境中以使包套内部的液态水或其它液体形成蒸汽并可被抽走，从而使包套内部形成真正的真空环境，从而获得焊接强度及成品率较高
2023-06-20
10
406KB
一种WTi靶材和铜背板的焊接方法.pdf
本发明涉及一种WTi靶材和铜背板的焊接方法，所述焊接方法包括：将WTi靶材、铜背板及盖板进行组装，之后置入包套中依次进行脱气处理及焊接；其中，所述WTi靶材的焊接面设置有槽；所述铜背板的焊接面依次进行酸处理和碱处理；所述组装为铜背板和盖板以WTi靶材为中心对称组装。本发明提供的焊接方法，通过在靶材焊接面设置槽、背板焊接面进行酸及碱处理及特定的组装方式，实现了WTi靶材和铜背板的有效焊接，同时减少了内应力的产生且出炉后无裂纹出现，同时也有效的避免了使用过程中尖端放电及弧光放电等现象的产生。
2023-06-16
10
288KB
一种靶材与背板的焊接结构及焊接方法.pdf
本发明公开了一种靶材与背板的焊接方法，包括以下步骤：提供靶材与背板，背板具有凹槽，凹槽的焊接面为螺旋沟槽结构；对靶材和背板进行激光清洗；将靶材放入背板的凹槽内并整体置于包套内整体置于包套内，对包套进行密封及真空处理；将抽真空后的包套进行热等静压处理，将靶材和背板进行焊接；焊接完成后，包套随炉冷却；冷却后去除包套以获得铝靶材组件。通过激光清洗，有效地清除材料表面可溶性杂质与氧化物层，实现靶材与背板直接接触并进行原子间的相互扩散。
2023-06-16
10
338KB
一种高纯度的Mo掺杂ITO靶材的制备方法.pdf
本发明提供一种高纯度的Mo掺杂ITO靶材的制备方法,包括以下步骤:(1)将MoO<base:Sub>2</base:Sub>、SnO<base:Sub>2</base:Sub>、水和分散剂搅拌分散;(2)搅拌分散后,将混合溶液球磨至粒度合格;(3)将In<base:Sub>2</base:Sub>O<base:Sub>3</base:Sub>、水、分散剂和粘结剂进行乳化;(4)将乳化后的溶液加入到步骤(2)球磨后的混合液中,继续球磨至粒度合格;(5)将步骤(4)球磨合格的混合溶液进行喷雾干燥造粒;(6)将
2023-06-07
10
1.6MB