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一种晶圆卡塞抓取总成.pdf

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本实用新型公开了一种晶圆卡塞抓取总成,包括滑轨组件、与滑轨组件滑动连接的滑动组件以及用于驱动滑动组件沿滑轨组件滑移的第一驱动装置,第一驱动装置固定连接在滑轨组件上,滑动组件上连接有第二驱动装置,第二驱动装置的输出端连接有抓取组件,以驱动抓取组件沿滑动组件远离或靠近方向运动,抓取组件用于对晶圆卡塞进行抓取,采用机械对晶圆卡塞进行抓取,解放操作人员双手,极大程度提高了对晶圆卡塞抓取及后续转运效率,解决了目前对晶圆卡塞的抓取和搬运,均通过人工手动操作,极大程度耗费人力,且降低了晶圆卡塞搬运效率问题。