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一种晶圆盒同步提升及抓取装置.pdf

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本发明涉及一种晶圆盒同步提升及抓取装置,包括有空中轨道行走机构,空中轨道行走机构的底部通过连接柱连接有四带提升机构,四带提升机构的下方吊装有晶圆盒抓取机构;晶圆盒抓取机构包括有抓取罩壳和抓取底壳,二者拼装在一起,抓取底壳内装有主齿轮和三个行星轮,主齿轮通过伺服电机驱动运转,三个行星轮分布在主齿轮周围并与主齿轮啮合连接,每个行星轮的轮轴朝下穿过所述的抓取底壳,每个行星轮轮轴的下端均设有卡爪,三个卡爪用于共同抓取晶圆盒形成三点夹钳;本发明的装置确保了提升物体的平稳性,保护了晶圆的完整性,同时确保整个轨道小车的运行稳定性。