一种晶圆清洗干燥装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115831827A(43)申请公布日2023.03.21(21)申请号202310107958.X(22)申请日2023.02.14(71)申请人江苏亚电科技有限公司地址225500江苏省泰州市姜堰区三水街道科技大道151号(72)发明人钱诚霍召军刘青松刘川(74)专利代理机构绍兴三人行柯信知识产权代理事务所(普通合伙)33495专利代理师朱亚飞(51)Int.Cl.H01L21/67(2006.01)B08B3/02(2006.01)F26B21/00(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图7页(54)发明名称一种晶圆清洗干燥装置(57)摘要本发明涉及物体表面干燥的技术领域，本发明具体涉及一种晶圆清洗干燥装置，包括喷淋头，喷淋头设有与外界气源连通的壳体，壳体设有可转动的外环，所述外环转动设有内环，外环设有倾斜设置的第一排气孔，内环设有与第一排气孔倾斜方向相反的第二排气孔，壳体内设有驱动外环、内环相对转动的驱动机构，外环设有第一啮合齿、内环设有第二啮合齿，驱动机构包括与第一啮合齿配合的第一齿轮、与第二啮合齿啮合的第二齿轮，第一齿轮与第二齿轮之间通过连接杆固定连接，连接杆滑动设有滑套，内环设有通过气流驱动旋转的叶片，壳体设有驱动滑套滑动的推拉机构，用以解决蒸发表面气体凝滞而导致蒸发效率降低的技术问题。CN115831827ACN115831827A权利要求书1/1页1.一种晶圆清洗干燥装置，包括喷淋头（1），所述喷淋头（1）设有与外界气源连通的壳体（2），其特征在于：所述壳体（2）设有可转动的外环（3），所述外环（3）转动设有内环（4），所述外环（3）设有倾斜设置的第一排气孔（5），所述内环（4）设有与第一排气孔（5）倾斜方向相反的第二排气孔（6），所述壳体（2）内设有驱动外环（3）、内环（4）相对转动的驱动机构，所述外环（3）设有第一啮合齿（7）、内环（4）设有第二啮合齿（8），所述驱动机构包括与第一啮合齿（7）配合的第一齿轮（9）、与第二啮合齿（8）啮合的第二齿轮（10），所述第一齿轮（9）与第二齿轮（10）之间通过连接杆（11）固定连接，所述连接杆（11）滑动设有滑套（12），所述内环（4）设有通过气流驱动旋转的叶片（13），所述壳体（2）设有驱动滑套（12）滑动的推拉机构。2.根据权利要求1所述的晶圆清洗干燥装置，其特征在于：所述推拉机构包括与壳体（2）固定连接的第一滑轨（14），所述滑套（12）设有与第一滑轨（14）滑动配合的第一滑块（15），所述滑套（12）与第一滑块（15）之间转动连接，所述第一滑轨（14）设有驱动第一滑块（15）沿第一滑轨（14）滑动的推拉杆（16）。3.根据权利要求2所述的晶圆清洗干燥装置，其特征在于：所述第一滑块（15）位于连接杆（11）中间位置时，推拉杆（11）为伸出的极限长度。4.根据权利要求3所述的晶圆清洗干燥装置，其特征在于：所述外环（3）的外周设有环槽（17），所述壳体（2）设有与环槽（17）转动配合的凸沿（18）。5.根据权利要求4所述的晶圆清洗干燥装置，其特征在于：所述壳体（2）设有第二滑块（19），所述第二滑块（19）滑动配合设有第二滑轨（20），第二滑轨（20）设有用于推拉第二滑块（19）的推拉气缸。6.根据权利要求5所述的晶圆清洗干燥装置，其特征在于：所述叶片（13）外侧与内环（4）固定连接以降低叶片（13）的震动。2CN115831827A说明书1/4页一种晶圆清洗干燥装置技术领域[0001]本发明涉及物体表面干燥领域，具体涉及一种晶圆清洗干燥装置。背景技术[0002]在对物体进行表面干燥时，通常使用单一的出风口对目标表面吹气体，然而因为气流在目标表面流动使靠近目标表面区域的气体凝滞而阻止目标表面液体的蒸发，故而导致吹过目标表面的气体大多没有参与蒸发作用，故而致使蒸发效率较低，使水渍有一定残留。[0003]现有技术中公开了名称为一种晶圆清洗干燥装置、授权公告号为CN111092036B的发明专利，用于对晶圆进行清洗的箱体，箱体的顶部设有用于供晶圆进、出所述箱体的开口；设于箱体内且用于承接晶圆的支撑机构，支撑机构可升降；设于开口处且用于对清洗后的晶圆表面喷洒干燥气体的喷淋管。该晶圆清洗干燥装置通过在箱体的开口处设置喷淋管，利用喷淋管对清洗后的晶圆喷洒干燥气体，来干燥晶圆表面。可以理解的是，该方式利用了马兰戈尼效应，也即，利用表面张力梯度差，将附着在晶圆表面的水去除；但是其公开的喷淋管同样是采用对吹的方式干燥，靠近晶圆表面区域的气体同样会凝滞而阻止表面液体的蒸发，从而使蒸发效率低而致使一定的水渍残留。[0004]现有技术中公开了名称为“同轴射流旋流燃烧室内湍流流动的数值模拟”、公开于化工学报第52卷第8期