一种四氯化硅合成三氯氢硅的方法.pdf
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一种四氯化硅合成三氯氢硅的方法.pdf
本发明公开了一种四氯化硅合成三氯氢硅的方法,属于三氯氢硅制备技术领域。所述方法包括如下步骤:在固定床中,四氯化硅与氢气在催化剂的作用下反应,即得三氯氢硅。其中,所述催化剂的制备包括凹凸棒土载体的制备、混合载体的制备、负载Ni、负载Ba等主要步骤。本发明选用耐高温的凹凸棒土和HZSM‑5进行复配作为催化剂的基本载体;其中,凹凸棒土在使用前进行了高温条件下的碱性熔融活化,形成了丰富的孔道结构,有利于后续的组分的负载;改性凹凸棒土和HZSM‑5采用直接混合焙烧,方法简单、易于操作;二者混合使用形成的孔隙丰富的复
四氯化硅转化三氯氢硅的方法.pdf
本发明公开了一种四氯化硅转化三氯氢硅的方法,气态四氯化硅和氢气混合后反应产生三氯氢硅,气态四氯化硅和氢气混合后在炉管内部被加热并进行反应;本发明采用炉管内反应生成三氯氢硅的方式,利于气态四氯化硅和氢气充分混合,受热均匀,降低反应所需的能耗;与现有技术相比,可以避免消耗电能,能够实现热量高效回收利用,同时可以将目前技术所实现的四氯化硅处理量成倍增加,解决多晶硅工厂四氯化硅转化的瓶颈问题,实现工业化大规模低能耗连续稳定生产。
三氯氢硅合成炉.pdf
本发明属于硅化工领域,涉及一种三氯氢硅合成炉,包括下壳体和梯形壳体,在下壳体与梯形壳体的连接处设置了气体分布板,其气体分布板上均匀设置了旋转喷管和圆柱喷管,旋转喷管与圆柱喷管交叉设置,本发明在气体气体分布板上设置有了两种不同的喷管,该两种喷管为旋转喷管和圆柱喷管,其旋转喷管和圆柱喷管在气体分布板上交叉设置,当氯化氢气体通过旋转喷管和圆柱喷管进入到中间壳体内与硅粉反应时,其旋转喷管和圆柱喷管喷出的氯化氢气体相互作用,使硅粉和氯化氢气体充分反应,又由于旋转喷管上喷孔以及圆柱喷管上斜喷孔的设置,可以有效的避免硅
三氯氢硅合成装置.pdf
本发明公开了一种三氯氢硅合成装置,包括合成炉筒体(3),合成炉筒体(3)外部有加热部件,其特征是:加热部件包括加热花板(8)和电阻丝(7),加热花板(8)为圆环片状,加热花板(8)设置在合成炉筒体(3)的外表面,加热花板(8)的环形表面上轴向密布有通孔(15),通孔(15)形成与加热花板内圆周同心的三圈同心圆通孔带,通孔(15)上固定有中空绝缘磁筒(9),电阻丝(7)在每个绝缘瓷筒(9)中心穿过。该合成装置升温迅速、控温准确、节约能源、便于操作,能显著提高三氯氢硅生产效率。
三氯氢硅及合成工艺.doc
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