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抛光片和抛光方法.pdf
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[问题]提供一种抛光片,其中可以有效地抛光硬质材料诸如金属产品以形成具有低凸性和凹性的平滑表面,并且即使在对同一抛光表面进行重复抛光时也形成均匀的平滑表面。[解决方法]一种抛光片包括基底、包括金刚石磨料颗粒和粘结材料并且形成抛光表面的多个三维元件,以及设置在所述基底与所述三维元件之间并且将所述基底和所述三维元件粘结在一起的中间层,其中所述金刚石磨料颗粒的含量C<base:Sub>2</base:Sub>与所述粘结材料的含量C<base:Sub>1</base:Sub>的比率C<base:Sub>2</ba
2023-06-06
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测量硅抛光片表面铜含量的方法.pdf
本发明涉及一种测量硅抛光片表面铜含量的方法，所属硅抛光片金属含量检测技术领域，包括如下操作步骤：先取两片在晶棒上处于同一位置相邻的硅抛光片，确保两片硅抛光片的体铜含量是一致性，接着使用SPV法测出其中一枚硅抛光片体铜含量，记为B1。再把另一枚硅抛光片放入退火炉在高纯氩气保护下，在高温下加热10～20分钟，使硅抛光片表面的铜驱入硅片体内。然后再次使用SPV法测出高温退火后的硅抛光片体铜含量，记为B2。最后利用SPV法测量两片硅抛光片的体铜含量算式算出硅片表面铁含量，硅片表面铁含量=0.5×（B2‑B1）×T
2023-06-16
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本发明涉及一种测量硅抛光片表面铁含量的方法，所属硅抛光片金属含量检测技术领域，包括如下操作步骤：第一步：使用SPV法测出硅抛光片体铁含量，记为B1。第二步：把硅抛光片放入退火炉在高纯氩气保护下，在高温下加热10～20分钟，使硅抛光片表面的铁驱入硅片体内。第三步：再次使用SPV法测出硅抛光片体铁含量，记为B2。第四步：利用SPV法测量高温前后两次体铁含量算式算出硅片表面铁含量，硅片表面铁含量=0.5×（B2‑B1）×T。具有方法简单、操作方便、节能环保和安全稳定性高的优点。解决了危险化学品使用的问题。避免了
2023-06-16
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本发明公开了一种硅晶抛光片缺陷的检测方法，所述检测方法包括：在暗室环境中，将聚光光源垂直照射在预先清洗的硅晶抛光片上，从而检测硅晶抛光片缺陷，其中聚光光源的照度高于40万勒；所述检测方法简单易行，且不需要昂贵的专业设备，大大降低了生产成本；效果直观，可通过肉眼直接鉴别；培训成本低，见效快，可立即投入使用，因此适用于硅晶圆片领域。
2023-11-01
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一种新型的固着磨料抛光片──WBN抛光片的制作工艺及其特性.docx
一种新型的固着磨料抛光片──WBN抛光片的制作工艺及其特性一种新型的固着磨料抛光片──WBN抛光片的制作工艺及其特性WBN抛光片是一种新型的固着磨料抛光片，其制作工艺及特性十分独特，具有很高的使用价值和经济价值。本文将介绍WBN抛光片的制作工艺及其特性，希望对相关领域的研究人员有所启示和帮助。一、WBN抛光片制作工艺1.材料选用WBN抛光片的主要材料为烷基钼酸铵（AMT）、钨酸铵（AT）和硫酸亚铁（FeSO4）。其中，烷基钼酸铵和钨酸铵作为固着剂用于固着磨料，硫酸亚铁用于制备呋喃催化剂。2.磨料制备将细颗
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