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终点检测窗及刻蚀反应腔体.pdf

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本公开是关于一种终点检测窗及刻蚀反应腔体,应用于终点检测窗的安装中,所述终点检测窗包括:主体,所述主体包括透光部;安装于所述主体上的弹性形变体,所述弹性形变体暴露出所述透光部,且所述弹性形变体至少一处轮廓的边缘位于所述主体的轮廓的边缘外部。本公开通过弹性形变体增强了终点检测窗的安装稳定性,弹性形变体能够起到减震缓冲的作用,减小了终点检测窗由于受到震动而从安装位置掉落的可能,同时弹性形变体在终点检测窗安装位置受损扩大时能够产生形变,减小了终点检测窗掉落的可能,保护了晶片不受损伤,同时提高了刻蚀设备的工作稳定性。