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晶圆边缘保护装置.pdf
2023-06-06
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一吃****仪凡
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本发明提供了一种晶圆边缘保护装置,包括:腔体和底座,所述腔体内设置热台,所述热台的底部固定在底座上,所述热台的表面中部设有晶圆放置位,所述腔体外壁上开设工艺气体进气口,所述腔体内壁围绕热台一周设置腔体内衬;陶瓷环,所述陶瓷环的内圈表面边缘设有保护边,所述保护边用于覆盖在待处理晶圆的边缘;所述腔体内衬的内圈边缘设置限位卡槽,所述陶瓷环的外圈设置与所述限位卡槽适配的导向凸块,所述导向凸块嵌入所述限位卡槽中,使所述陶瓷环搭接在所述腔体内衬的内圈;升降机构,所述升降机构的驱动端连接所述底座,以驱动所述热台在所述腔
2023-06-06
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晶圆片边缘处理装置.pdf
本发明涉及一种晶圆片边缘处理装置，包括清洗池及安装于清洗池上方的清洗腔，所述清洗池中安装有多个驱动滚轮，驱动滚轮的驱动轴与驱动装置连接；所述清洗腔中设有多个清洗槽，所述清洗槽对应位于驱动滚轮的上方。本发明专用于晶圆片边缘的清洗处理，采用多个驱动齿轮集中驱动晶圆片，其清洗效率高，整个处理装置的结构简单、紧凑。
2023-09-03
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晶圆边缘轮廓的检测方法.pdf
本发明涉及晶圆检测领域，公开了一种晶圆边缘轮廓的检测方法，所述检测方法包括：步骤一，将晶圆(1)夹持在夹具上，在支撑盘(9)上设置印模剂；步骤二，将所述晶圆(1)的待成型边缘压入印模剂中，滚动所述晶圆(1)，所述晶圆(1)的待成型边缘在印模剂上滚动而形成印模模型；步骤三，使用激光共聚焦显微镜扫描所述模型，得到所述印模模型在不同位置的三维图像；步骤四，使用计算机软件将三维图像拼接得到所述晶圆(1)的三维边缘数据模型。通过上述技术方案，可以将印模模型在不同位置的三维图像拼接形成三维边缘数据模型，可以更全面、更
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2023-06-03
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2023-10-14
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