触摸检测器件、包括其的显示装置和制造其的方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115904115A(43)申请公布日2023.04.04(21)申请号202210472397.9(22)申请日2022.04.29(30)优先权数据10-2021-01060792021.08.11KR(71)申请人三星显示有限公司地址韩国京畿道龙仁市(72)发明人朴正睦金珉洪金兑俊朴珍佑田完基赵炫昱(74)专利代理机构北京铭硕知识产权代理有限公司11286专利代理师程月韩芳(51)Int.Cl.G06F3/041(2006.01)G06F3/044(2006.01)权利要求书3页说明书18页附图20页(54)发明名称触摸检测器件、包括其的显示装置和制造其的方法(57)摘要本公开涉及一种触摸检测器件、包括其的显示装置和制造其的方法，该触摸检测器件可以通过改善触摸电极的结构来提高发射效率，同时保持触摸检测性能。根据公开的实施例，一种触摸检测器件包括第一触摸绝缘层、设置在第一触摸绝缘层上的连接电极、设置在连接电极上的第二触摸绝缘层、设置在第二触摸绝缘层上并且通过至少一个触摸接触孔连接到连接电极的驱动电极以及设置在第二触摸绝缘层上并且与驱动电极间隔开的感测电极，其中，驱动电极和感测电极中的至少一个包括导电金属电极和被氧化的金属氧化物电极。CN115904115ACN115904115A权利要求书1/3页1.一种触摸检测器件，所述触摸检测器件包括：第一触摸绝缘层；连接电极，设置在所述第一触摸绝缘层上；第二触摸绝缘层，设置在所述连接电极上；驱动电极，设置在所述第二触摸绝缘层上并且通过至少一个触摸接触孔连接到所述连接电极；以及感测电极，设置在所述第二触摸绝缘层上并且与所述驱动电极间隔开，其中，所述驱动电极和所述感测电极中的至少一个包括导电金属电极和金属氧化物电极，并且其中，所述金属氧化物电极被氧化。2.根据权利要求1所述的触摸检测器件，其中，所述金属氧化物电极设置在所述导电金属电极上，其中，所述金属氧化物电极包括铜氧化物和铬氧化物中的一种或它们的合金，所述铜氧化物为CuO，所述铬氧化物为CrO，并且其中，所述金属氧化物电极经由氧化工艺变黑。3.根据权利要求2所述的触摸检测器件，其中，所述驱动电极和所述感测电极中的所述至少一个形成为网格图案以不与发射区域叠置。4.根据权利要求3所述的触摸检测器件，所述触摸检测器件还包括：第三触摸绝缘层，设置在所述驱动电极和所述感测电极上；以及滤色器层，设置在所述第三触摸绝缘层上以与所述发射区域叠置。5.根据权利要求3所述的触摸检测器件，其中，所述驱动电极的线宽度大于所述感测电极的线宽度和所述连接电极的线宽度。6.根据权利要求5所述的触摸检测器件，其中，所述驱动电极包括：信号电极，电连接到所述连接电极以接收触摸驱动信号；以及信号浮置电极，与所述信号电极间隔开并且保持浮置状态。7.根据权利要求6所述的触摸检测器件，其中，所述信号电极与所述信号浮置电极之间的距离是均匀的，并且其中，所述信号浮置电极形成为正方形、矩形或多边形形状。8.根据权利要求3所述的触摸检测器件，其中，所述驱动电极的线宽度和所述感测电极的线宽度大于所述连接电极的线宽度，并且所述驱动电极的所述线宽度等于或不同于所述感测电极的所述线宽度。9.根据权利要求8所述的触摸检测器件，其中，所述感测电极包括：传输电极，用于传输等于存储在触摸节点处的电荷量的电压，所述触摸节点形成在所述驱动电极或所述连接电极与所述感测电极叠置的位置；以及传输浮置电极，与所述传输电极分隔开并且保持浮置状态。10.根据权利要求9所述的触摸检测器件，其中，所述传输电极与所述传输浮置电极之间的距离是均匀的，并且其中，所述传输浮置电极形成为正方形、矩形或多边形形状。11.一种显示装置，所述显示装置包括：2CN115904115A权利要求书2/3页显示面板，包括具有用于显示图像的像素的显示区域；触摸检测器，与所述显示区域叠置并且包括具有触摸电极的触摸感测区域；以及触摸驱动器，电连接到所述触摸电极，其中，所述触摸检测器包括：第一触摸绝缘层；连接电极，设置在所述第一触摸绝缘层上；第二触摸绝缘层，设置在所述连接电极上；驱动电极，设置在所述第二触摸绝缘层上并且通过至少一个触摸接触孔连接到所述连接电极；以及感测电极，设置在所述第二触摸绝缘层上并且与所述驱动电极间隔开，其中，所述驱动电极和所述感测电极中的至少一个包括导电金属电极和金属氧化物电极，并且其中，所述金属氧化物电极被氧化。12.一种制造触摸检测器件的方法，所述方法包括以下步骤：在基底上形成第一触摸绝缘层；在所述第一触摸绝缘层上形成连接电极；在所述连接电极上形成第二触摸绝缘层；在所述第二触摸绝缘层中形成多个触摸接触孔；以及在其中形成有所述多个触摸接触孔的所述第二触摸绝缘层上形成