光波导元件、光调制器、光调制模块及光发送装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115943339A(43)申请公布日2023.04.07(21)申请号202180044228.9(51)Int.Cl.(22)申请日2021.08.03G02F1/035(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日2022.12.21(86)PCT国际申请的申请数据PCT/JP2021/0288092021.08.03(87)PCT国际申请的公布数据WO2021/261605JA2021.12.30(71)申请人住友大阪水泥股份有限公司地址日本东京都(72)发明人宫崎德一菅又徹(74)专利代理机构中原信达知识产权代理有限责任公司11219专利代理师季莹方应星权利要求书1页说明书13页附图8页(54)发明名称光波导元件、光调制器、光调制模块及光发送装置(57)摘要在使用凸状光波导的光波导元件中，有效地减少光波导与电极之间的交叉部处的波导光的吸收损失，而不招致光学特性的劣化及长期可靠性的下降。光调制器具有基板和电极，该基板形成有光波导，该电极在基板上具有在光波导的上方交叉的交叉部，其中，光波导由在基板上延伸的凸部形成，在上述交叉部，在光波导与电极之间设置树脂层，树脂层覆盖光波导的上述凸部的上表面及侧面，且在沿着上述光波导的宽度方向的剖面中，与上述电极之间的边界由曲线构成。CN115943339ACN115943339A权利要求书1/1页1.一种光波导元件，是具有基板和电极的光调制器，所述基板形成有光波导，所述电极形成于所述基板上，且具有在所述光波导的上方交叉的交叉部，其中，所述光波导由在所述基板上延伸的凸部形成，在所述交叉部，在所述光波导与所述电极之间设置有树脂层，所述树脂层覆盖所述光波导的所述凸部的上表面及侧面而形成，且在沿着所述光波导的宽度方向的剖面中，所述树脂层与所述电极之间的边界由曲线构成。2.根据权利要求1所述的光波导元件，其中，所述曲线具有从所述基板的面测量的所述凸部的高度的1/4以上的曲率半径。3.根据权利要求1或2所述的光波导元件，其中，所述树脂层沿着所述光波导的宽度方向从所述凸部的侧面在比该凸部的宽度宽的范围内延伸。4.根据权利要求1～3中任一项所述的光波导元件，其中，所述树脂层形成为，所述凸部的上部的该树脂层的厚度具有比从所述基板的面测量的所述凸部的高度大的值。5.根据权利要求1～4中任一项所述的光波导元件，其中，在所述凸部的上表面形成有中间层，该中间层包含二氧化硅(SiO2)，在所述中间层的上部形成有所述树脂层。6.根据权利要求1～5中任一项所述的光波导元件，其中，所述树脂层沿相邻的多个所述交叉部延伸地形成。7.根据权利要求6所述的光波导元件，其中，所述树脂层由多个层形成。8.根据权利要求1～7中任一项所述的光波导元件，其中，所述基板由具有光弹性效应的材料构成。9.根据权利要求1～8中任一项所述的光波导元件，其中，所述基板的厚度为20μm以下。10.一种光调制器，具备：作为进行光的调制的光调制元件的、权利要求1～9中任一项所述的光波导元件；壳体，收容所述光波导元件；向所述光波导元件输入光的光纤；及将所述光波导元件输出的光向所述壳体的外部引导的光纤。11.一种光调制模块，具备：作为进行光的调制的光调制元件的、权利要求1～9中任一项所述的光波导元件；及驱动电路，对所述光波导元件进行驱动。12.一种光发送装置，具备：权利要求10所述的光调制器或权利要求11所述的光调制模块；及电子电路，生成用于使所述光波导元件进行调制动作的电信号。2CN115943339A说明书1/13页光波导元件、光调制器、光调制模块及光发送装置技术领域[0001]本发明涉及光波导元件、光调制器、光调制模块及光发送装置。背景技术[0002]在高速/大容量光纤通信系统中，多使用装入有光调制元件的光调制器，该光调制元件是由形成在基板上的光波导构成的光波导元件。其中，将具有电光效应的LiNbO3(以下，也称为LN)使用于基板的光调制元件能实现光的损失少且宽带的光调制特性，因此广泛地使用于高速/大容量光纤通信系统。[0003]特别是光纤通信系统中的调制方式受到近年来的传送容量的增大化的潮流的影响，QPSK(QuadraturePhaseShiftKeying，四比特相位偏移调制)、DP‑QPSK(DualPolarization‑QuadraturePhaseShiftKeying，双极化四相相移键控)等多级调制、在多级调制中采用了偏振复用的传送制式成为主流，除了在主干光传送网络中使用之外，也逐渐被导入到城域网中。[0004]另外，近年来，由于光调制器自身的进一步的低电压驱动及高速调制，使用肋型光波导或脊型光波导(以下，总称为凸状光波导)的光调制器也逐渐被实际应用，该肋型光波导