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光波导元件及光调制器.pdf

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本发明为了提供一种通过减少缓冲层产生的向基板的应力的影响而能够防止由于该应力而产生的对基板的损伤、基板的特性劣化的光波导元件及光调制器,光波导元件(1)的特征在于,具备:基板(5),具有电光效应;光波导(10),形成于基板(5);上表面缓冲层(第一缓冲层)(9a),设置在基板(5)上;及下表面缓冲层(第二缓冲层)(9b),设置在基板(5)下,上表面缓冲层(9a)及下表面缓冲层(9b)由大致相同的材料构成且具有大致相同的厚度,上表面缓冲层(9a)以与基板(1)的上表面接触的方式形成,下表面缓冲层(9b)以与基板(1)的下表面接触的方式形成。