输送和计量装置.pdf
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输送和计量装置.pdf
本发明涉及输送和计量装置,其具有:连续的板条带(2),其能够借助于辊(22)在引导轨道(3、43)上移动,其中,引导轨道(43)的彼此对置的部分与相邻部分(3)分开并且安装于称重装置(6),并且为了确定输送的材料的质量,所述称重装置(6)连接到电子分析装置,其中,引导轨道(43)的待被称重的部分与纵向构件(41)和垂直于纵向构件(41)的横向支杆(42)一起形成称重框架(4),并且所述称重框架(4)在其四个角部中的每一个角部处支撑于独立的称重装置(6),其中能够调节的定心装置(5)设置在称重框架(4)和各
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本发明涉及输送和计量装置,其具有:连续的板条带(2),其能够借助于辊(22)在引导轨道(3、43)上移动,其中,引导轨道(43)的彼此对置的部分与相邻部分(3)分开并且安装于称重装置(6),并且为了确定输送的材料的质量,所述称重装置(6)连接到电子分析装置,其中,引导轨道(43)的待被称重的部分与纵向构件(41)和垂直于纵向构件(41)的横向支杆(42)一起形成称重框架(4),并且所述称重框架(4)在其四个角部中的每一个角部处支撑于独立的称重装置(6),其中能够调节的定心装置(5)设置在称重框架(4)和各
输送装置和输送方法.pdf
本发明能够抑制齿轮的齿隙所导致的被处理基片的位置偏离。输送装置包括:基座部件、臂和驱动部。基座部件可旋转地设置于输送室内。臂设置于基座部件上,并支承被处理基片。驱动部利用从动力源经由齿轮传递来的动力,使基座部件向第一旋转方向或者作为第一旋转方向的相反方向的第二旋转方向旋转。另外,在将由臂支承的被处理基片输送到处理室时,驱动部使基座部件旋转以使得臂的方向成为从第一径向向第二旋转方向偏离规定角度的第二径向,其中第一径向是从基座部件的旋转中心去向处理室的方向。然后,驱动部使基座部件向第一旋转方向旋转规定角度以使
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