一种便于固定切割线的晶圆线切割装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112895184A(43)申请公布日2021.06.04(21)申请号202110091702.5(22)申请日2021.01.23(71)申请人陈嘉玲地址510000广东省广州市荔湾区康王中路486号(72)发明人陈嘉玲(51)Int.Cl.B28D5/04(2006.01)B28D5/00(2006.01)F16F15/067(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图5页(54)发明名称一种便于固定切割线的晶圆线切割装置(57)摘要本发明涉及一种便于固定切割线的晶圆线切割装置，包括底座、支杆、横杆、固定管、移动机构和切割机构，所述移动机构设置在横杆上，所述切割机构设置在移动机构上，该便于固定切割线的晶圆线切割装置，通过移动机构驱动切割机构移动，通过切割机构实现工件的切割，与现有的切割机构相比，该机构通过拉紧组件绷紧切割线，从而对切割线实现更好的固定，避免切割线移动，从而提高了切割精度，实现更好的切割效果，通过定位组件对切割线进行定位，同时对切割线切割时产生的震动进行缓冲减震，使得工件切割的更加稳定，提高了切割精度，且通过简单的按压和旋转，即可实现定位轮的拆卸，从而进行切割线的更换，操作简单方便，提高了实用性。CN112895184ACN112895184A权利要求书1/2页1.一种便于固定切割线的晶圆线切割装置，其特征在于，包括底座(1)、支杆(2)、横杆(3)、固定管(4)、移动机构和切割机构，所述横杆(3)通过支杆(2)设置在底座(1)上方，所述固定管(4)设置在底座(1)上，所述移动机构设置在横杆(3)上，所述切割机构设置在移动机构上；所述移动机构包括第一电机(5)、丝杆(6)、移动杆(7)和移动板(8)，所述第一电机(5)竖向朝下设置在横杆(3)上，所述丝杆(6)安装在第一电机(5)上，所述移动杆(7)套设在丝杆(6)上，所述移动杆(7)与丝杆(6)螺纹连接，所述支杆(2)上设有滑槽，所述移动杆(7)的一端位于滑槽内，所述移动杆(7)与滑槽滑动连接，所述移动板(8)设置在移动杆(7)远离滑槽的一端；所述切割机构包括第二电机(9)、切割线(10)、定位组件和拉紧组件，所述定位组件有四个，四个定位组件分别设置在移动板(8)的四角，所述定位组件包括固定块(11)、套管(12)、卡杆(13)、第一弹簧(14)、卡块(15)、定位轴(16)和定位轮(17)，所述固定块(11)设置在移动板(8)上，所述固定块(11)上设有凹槽，所述套管(12)的一端位于凹槽内，所述套管(12)的另一端伸出凹槽外，所述套管(12)与凹槽滑动连接，所述卡杆(13)的一端位于套管(12)内，所述卡杆(13)的另一端伸出套管(12)外，所述卡杆(13)与套管(12)滑动连接，所述卡杆(13)伸出套管(12)外的一端与凹槽底部抵靠，所述第一弹簧(14)设置在套管(12)内，所述第一弹簧(14)的两端分别与卡杆(13)和套管(12)抵靠，所述凹槽内设有条形槽，所述条形槽底部设有定位槽，所述定位槽远离条形槽的一端设有卡槽，所述卡块(15)设置在套管(12)上，所述卡块(15)位于卡槽内，所述定位轴(16)设置在套管(12)位于凹槽外的一端，所述定位轮(17)套设在定位轴(16)上，所述定位轮(17)与定位轴(16)键连接，所述切割线(10)套设在四个定位组件的四个定位轮(17)上，所述第二电机(9)设置在其中一个套管(12)上，其中一个定位轴(16)安装在第二电机(9)上，所述拉紧组件包括限位杆(18)、限位块(19)、第二弹簧(20)和限位轮(21)，所述限位杆(18)设置在移动板(8)上，所述限位杆(18)上设置限位槽，所述限位块(19)位于限位槽内，所述限位块(19)与限位槽滑动连接，所述第二弹簧(20)设置在限位槽内，所述第二弹簧(20)的一端与限位槽连接，所述第二弹簧(20)的另一端与限位块(19)连接，所述限位轮(21)设置在限位块(19)上，所述切割线(10)绕过限位轮(21)。2.如权利要求1所述的便于固定切割线的晶圆线切割装置，其特征在于，所述卡块(15)有两个，两个卡块(15)分别设置在套管(12)的两侧，所述条形槽有两个，两个条形槽分别与两个卡块(15)对应设置，所述定位槽有两个，两个定位槽分别与两个卡块(15)对应设置，所述卡槽有两个，两个卡块(15)分别位于两个卡槽内。3.如权利要求1所述的便于固定切割线的晶圆线切割装置，其特征在于，所述底座(1)上设有PLC，所述第一电机(5)和第二电机(9)均与PLC电连接。4.如权利要求1所述的便于固定切割线的晶圆线切割装置，其特征在于，所述底座(1)上设有轴承座，所述丝杆(6)远离第一电机(5)的一端位于轴