一种晶圆low-k膜激光开槽设备.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113894433A(43)申请公布日2022.01.07(21)申请号202111077413.6B23K26/60(2014.01)(22)申请日2021.09.15B23K26/70(2014.01)B05C5/02(2006.01)(71)申请人河南通用智能装备有限公司地址450000河南省郑州市高新技术产业开发区瑞达路96号创业中心2号楼一楼A130-10号(72)发明人闫兴陶为银巩铁建蔡正道张伟鲍占林(74)专利代理机构郑州芝麻知识产权代理事务所(普通合伙)41173代理人乔俊霞(51)Int.Cl.B23K26/364(2014.01)B23K26/38(2014.01)B23K26/08(2014.01)权利要求书2页说明书5页附图3页(54)发明名称一种晶圆low-k膜激光开槽设备(57)摘要本发明公开了一种晶圆low‑k膜激光开槽设备，涉及开槽设备技术领域，一种晶圆low‑k膜激光开槽设备，包括底板，所述底板的顶部分别固定连接有方框块、支撑板、支撑台和喷胶机，所述方框块的顶部分别固定连接有第一固定板、连接板、切割箱和放置台。该晶圆low‑k膜激光开槽设备，通过第一驱动电机、调节块、第一连杆、配合块、支撑弹簧、辅助块、第二连杆、圆环块、支杆和固定块的设置，使该晶圆low‑k膜激光开槽设备具备了方便调节切割位置的效果，在使用的过程中方便调节激光切割器的切割位置，使激光切割器按照一定的轨迹运动，方便完成切割，从而起到了方便调节切割位置的作用，达到了方便调节切割位置的目的。CN113894433ACN113894433A权利要求书1/2页1.一种晶圆low‑k膜激光开槽设备，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的顶部分别固定连接有方框块(2)、支撑板(3)、支撑台(4)和喷胶机(5)，所述方框块(2)的顶部分别固定连接有第一固定板(6)、连接板(7)、切割箱(8)和放置台(45)，所述切割箱(8)的顶部固定连接有第一驱动电机(9)，所述第一驱动电机(9)的输出端固定连接有调节块(10)，所述调节块(10)的内部开设有通孔，所述通孔的内部设置有第一连杆(11)，所述第一连杆(11)的端部固定连接有配合块(12)，所述配合块(12)的一侧面固定连接有支撑弹簧(13)，所述配合块(12)通过轴杆转动连接有辅助块(14)，所述辅助块(14)的内部开设有圆孔，所述圆孔的内部设置有第二连杆(15)，所述第二连杆(15)的端部固定连接有圆环块(16)，所述圆环块(16)的内部设置有支杆(17)，所述支杆(17)的两端均固定连接有固定块(18)，所述喷胶机(5)的顶部分别设置有喷胶管(19)和支撑杆(20)，所述支撑杆(20)的顶部固定连接有环形放置板(21)，所述第一固定板(6)的一侧面固定连接有第二驱动电机(22)，所述第二驱动电机(22)的输出端固定连接有第一缠绕杆(23)，所述连接板(7)的一侧面通过轴承转动连接有第一滚筒(24)，所述连接板(7)的内部开设有十字槽，所述十字槽的内部固定连接有限位弹簧(25)，所述限位弹簧(25)的一端固定连接有十字块(26)，所述十字块(26)通过轴承转动连接有第二滚筒(27)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆low‑k膜激光开槽设备，其特征在于：所述支撑弹簧(13)远离配合块(12)的一端与调节块(10)固定连接，所述支撑弹簧(13)套接在第一连杆(11)的外部。3.根据权利要求1所述的一种晶圆low‑k膜激光开槽设备，其特征在于：所述固定块(18)与切割箱(8)的内侧壁固定连接，所述配合块(12)的底部固定连接有第一电动液压推杆(28)，所述第一电动液压推杆(28)的活动端固定连接有激光切割器(29)。4.根据权利要求1所述的一种晶圆low‑k膜激光开槽设备，其特征在于：所述方框块(2)的后面固定连接有第二固定板(30)，所述第二固定板(30)通过轴承转动连接有第二缠绕杆(31)，所述第一缠绕杆(23)和第二缠绕杆(31)的外表面均设置有low‑k膜(32)。5.根据权利要求4所述的一种晶圆low‑k膜激光开槽设备，其特征在于：所述方框块(2)的后面固定连接第一伺服电机(33)，所述第一伺服电机(33)的输出端固定连接有第一螺杆(34)，所述第一螺杆(34)的外表面螺纹连接有第一移动块(35)，所述第一移动块(35)的两侧面固定连接有滑块(36)，所述方框块(2)的内侧壁开设有滑槽，所述滑块(36)滑动连接在滑槽的内部，所述第一移动块(35)的顶部开设有切割槽，所述切割槽的位置与激光切割器(29)的位置相对应，所述第一移动块(35)和放置台(45)均与low‑k膜(32)抵接。6.根据权利要求1所述的