静电驱动MEMS器件.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108710203A(43)申请公布日2018.10.26(21)申请号201810471362.7G03B21/20(2006.01)(22)申请日2015.01.30G03B21/28(2006.01)B81B7/00(2006.01)(30)优先权数据B81B3/00(2006.01)TO2014A0000772014.01.31IT(62)分案原申请数据201510049858.12015.01.30(71)申请人意法半导体股份有限公司地址意大利阿格拉布里安扎(72)发明人R·卡尔米纳蒂S·康蒂(74)专利代理机构北京市金杜律师事务所11256代理人王茂华董典红(51)Int.Cl.G02B26/08(2006.01)G03B21/14(2006.01)权利要求书3页说明书6页附图9页(54)发明名称静电驱动MEMS器件(57)摘要本申请涉及静电驱动MEMS器件。MEMS器件具有经由接合臂对由支撑区域支撑的支撑物体。一种耦合到接合臂的静电驱动系统具有耦合到彼此的移动电极和固定电极。静电驱动系统由布置在相应的接合臂的相对侧上并且通过连接元件连接到接合臂的两对致动组件形成。每个致动组件横向延伸到悬挂物体并且具有支撑相应的多个移动电极的附属臂。每个附属臂平行于接合臂。连接元件可以是刚性的或者由联动装置形成。CN108710203ACN108710203A权利要求书1/3页1.一种MEMS器件，包括：悬置块；支撑区域；接合臂，具有耦合到所述悬置块的第一端和耦合到所述支撑区域的第二端，所述接合臂具有从所述第一端延伸到所述第二端的纵轴，所述接合臂具有相对于所述纵轴而彼此相对的相对侧，所述接合臂和所述悬置块被配置为围绕所述纵轴旋转；连接元件，从所述接合臂的所述相对侧延伸；以及静电驱动系统，包括第一致动组件和第二致动组件，所述第一致动组件和所述第二致动组件布置在所述接合臂的所述相对侧上并且分别通过所述连接元件被耦合到所述接合臂，所述第一致动组件和所述第二致动组件中的每个致动组件包括交错布置的移动电极和固定电极。2.根据权利要求1所述的MEMS器件，其中所述第一致动组件和所述第二致动组件包括具有相对侧的附属臂，其中所述移动电极从所述附属臂的所述相对侧延伸。3.根据权利要求2所述的MEMS器件，其中所述附属臂具有与所述接合臂的所述纵轴基本上平行的纵轴。4.根据权利要求2所述的MEMS器件，其中所述连接元件是刚性壁。5.根据权利要求4所述的MEMS器件，其中所述刚性壁具有分别耦合到所述接合臂的第一部分和耦合到所述附属臂的第二部分，铰链分别位于所述刚性壁的所述第一部分和所述第二部分处，所述铰链被配置为允许所述第一部分和所述第二部分在不同方向中移动。6.根据权利要求2所述的MEMS器件，其中所述连接元件每个由联动装置形成，所述联动装置包括具有分别耦合到所述接合臂和所述附属臂的第一端部以及通过铰链耦合到彼此的第二端部的杠杆对。7.根据权利要求6所述的MEMS器件，其中每个铰链由具有共同耦合并且耦合到所述杠杆对的端部的总体为U形的区域对形成。8.根据权利要求6所述的MEMS器件，进一步包括扭转弹簧和固定区域，其中所述附属臂经由相应的扭转弹簧被耦合到所述固定区域。9.根据权利要求1所述的MEMS器件，进一步包括第一结构层和第二结构层，其中对于所述第一致动组件和所述第二致动组件中的至少一个致动组件，所述移动电极在所述第一结构层中形成而所述固定电极在所述第二结构层中形成。10.根据权利要求2所述的MEMS器件，其中在每个致动组件中，第一移动电极在第一结构层中形成，第二移动电极在第二结构层中形成，其中与所述第一移动电极交错布置的所述固定电极在所述第二结构层中形成而与所述第二移动电极交错布置的所述固定电极在所述第一结构层中形成。11.根据权利要求1所述的MEMS器件，其中所述接合臂是第一接合臂并且所述支撑区域是第一支撑区域，所述MEMS器件包括：第二接合臂；以及其中所述静电驱动系统包括布置在所述第二接合臂的相对侧上的第三致动组件和第四致动组件，并且其中所述第二接合臂将所述支撑臂耦合到所述第二支撑区域。2CN108710203A权利要求书2/3页12.根据权利要求11所述的MEMS器件，包括第五致动组件和第六致动组件，每个致动组件具有至少部分由所述第一接合臂和所述第二接合臂分别支撑的移动电极。13.根据权利要求11所述的MEMS器件，其中所述致动组件中每个致动组件具有平行于彼此并且平行于所述第一接合臂的所述纵轴延伸的纵轴。14.根据权利要求11所述的MEMS器件，其中所述悬置块是具有发射表面的微反射镜，其中所述反射表面的中心轴围绕所述第一接合臂的所述纵轴并且围绕所述第二接合臂的纵轴旋