基于MEMS工艺的高Q值三维螺旋结构电感及其制作方法.pdf
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基于MEMS工艺的高Q值三维螺旋结构电感及其制作方法.pdf
本发明属于微电子技术领域,具体为基于MEMS工艺的高Q值三维螺旋结构集成电感及其制作方法。本发明的三维螺旋结构集成电感包括硅基体、基层绝缘层、螺旋线圈、螺旋线圈间支撑物;所述基层绝缘层用于隔离电感螺旋线圈与硅基体,螺旋线圈通过线圈间绝缘层中的柱状金属形成电气连接。本发明采用改良的三维垂直集成方案,通过基层绝缘层隔离电感和硅衬底,降低衬底损耗,并通过绝缘材料支撑垂直螺旋结构,在较小的面积内向上垂直集成多层线圈,最终形成损耗低、杂散寄生电容小、具有高Q值、同时与封装工艺兼容、机械稳定的微型集成电感。
高Q值全金属MEMS电感的设计与制备研究的综述报告.docx
高Q值全金属MEMS电感的设计与制备研究的综述报告随着无线通信、物联网和智能家居等领域的快速发展,越来越多的电子器件需要使用电感器来实现其功能。而微电子机械系统(MEMS)电感由于其优异的性能和小型化的特点,成为电感器领域的研究热点之一。其中,全金属MEMS电感器由于其低损耗、高可靠性和抗干扰能力强等特点,受到了广泛关注。因此,对其设计和制备的研究也日益深入。高Q值是全金属MEMS电感器最重要的性能指标之一。其Q值是指电感器中储存电能与损耗电能之比。因此,要想实现高Q值电感器就需要在材料选择、结构设计、制
一种基于折纸结构的MEMS电感.pdf
本发明公开了一种基于折纸结构的MEMS电感,包括衬底,第一输入/输出微带线、第二输入/输出微带线、折纸结构固定点、金属电感结构、绝缘结构、热驱动梁位移放大结构、电感绝缘结构、向上折叠节点、向下折叠节点、折叠区绝缘结构、接地板以及锚区折叠节点。本发明MEMS电感为可重构三维结构,具有Q值高、工艺兼容等优点。
三维螺旋电感.pdf
本发明提供一种三维螺旋电感,包括衬底,在衬底的正面结构中,形成有立体螺旋构型的导电线圈;所述导电线圈具有一定厚度,导电线圈的厚度小于衬底的厚度;螺旋构型的导电线圈具有内端头和外端头;所述导电线圈的内端头和外端头分别通过贯穿衬底的导电通孔连接至衬底的背面。可选地,在衬底背面设有与导电通孔下端连接的线圈电连接端。更优地,所述导电线圈位于衬底正面结构的空腔中,导电线圈的走线之间,以及导电线圈外围一圈的衬底材料被去除;导电线圈与空腔底部的衬底保持连接。本发明实现了三维螺旋电感结构,还可以明显地提升电感性能。
MEMS芯片封装结构及其制作方法.pdf
本发明公开了一种MEMS芯片封装结构及其制作方法,首先,选取与MEMS芯片相同材质的盖板,盖板具有第一表面和第二表面,在盖板第二表面利用硅通孔工艺开引线开口,并于第二表面及引线开口内依次铺设第二绝缘层、第二金属线路层、保护层,在第二金属线路层上预留出焊盘位置,焊盘上长有焊球;其次,在盖板第一表面依次铺设第一绝缘层、第一金属线路层和缓冲层,并制作空腔,最后于缓冲层上制作密封环和导电凸点,使空腔宽度大于功能芯片功能区的宽度;接着,将MEMS芯片的焊垫与盖板第一表面的导电凸点键合,即可完成对芯片的封装。本发明通