一种基于折纸结构的MEMS电感.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115188559A(43)申请公布日2022.10.14(21)申请号202211096989.1(22)申请日2022.09.08(71)申请人东南大学地址210096江苏省南京市玄武区四牌楼2号(72)发明人韩磊高初缘许少杰袁翌庭何静黄苏畅(74)专利代理机构南京众联专利代理有限公司32206专利代理师杜静静(51)Int.Cl.H01F21/00(2006.01)H01F27/28(2006.01)H01F27/32(2006.01)B81B7/02(2006.01)权利要求书3页说明书6页附图5页(54)发明名称一种基于折纸结构的MEMS电感(57)摘要本发明公开了一种基于折纸结构的MEMS电感，包括衬底，第一输入/输出微带线、第二输入/输出微带线、折纸结构固定点、金属电感结构、绝缘结构、热驱动梁位移放大结构、电感绝缘结构、向上折叠节点、向下折叠节点、折叠区绝缘结构、接地板以及锚区折叠节点。本发明MEMS电感为可重构三维结构，具有Q值高、工艺兼容等优点。CN115188559ACN115188559A权利要求书1/3页1.一种基于折纸结构的MEMS电感，其特征在于，所述电感包括衬底（1），第一输入/输出微带线（21）、第二输入/输出微带线（22）、折纸结构固定点、金属电感结构、绝缘结构（34）、热驱动梁位移放大结构、电感绝缘结构、向上折叠节点、向下折叠节点、折叠区绝缘结构、接地板（7）以及锚区折叠节点；所述热驱动梁位移放大结构与绝缘结构（34）连接，金属电感结构之间通过电感绝缘结构、向上折叠节点、向下折叠节点和折叠区绝缘结构相连接，折纸结构固定点与金属电感结构通过锚区折叠节点相连接，第一输入/输出微带线（21）、第二输入/输出微带线（22）与折纸结构固定点相连接。2.根据权利要求1所述的基于折纸结构的MEMS电感，其特征在于，所述折纸结构固定点包括第一折纸结构固定点（311）和第二折纸结构固定点（312）。3.根据权利要求1所述的基于折纸结构的MEMS电感，其特征在于，所述金属电感结构包括第一金属电感结构（31）、第二金属电感结构（321）、第三金属电感结构（322）、第四金属电感结构（331）、第五金属电感结构（332）、第六金属电感结构（351）、第七金属电感结构（352）、第八金属电感结构（36）、第九金属电感结构（37）。4.根据权利要求3所述的基于折纸结构的MEMS电感，其特征在于，第一热驱动梁支梁（441）、第三热驱动梁支梁（443）、第一热驱动梁固定点（431）、第三热驱动梁固定点（433）和第一热驱动梁推动杆（411）组成第一热驱动梁；第二热驱动梁支梁（442）、第四热驱动梁支梁（444）、第二热驱动梁固定点（432）、第四热驱动梁固定点（434）和第二热驱动梁推动杆（412）组成第二热驱动梁；所述第一热驱动梁、第二热驱动梁和六边形结构梁（45）组成热驱动梁位移放大结构。5.根据权利要求4所述的基于折纸结构的MEMS电感，其特征在于，所述电感绝缘结构包括第一电感绝缘结构（511）、第二电感绝缘结构（512）、第三电感绝缘结构（513）和第四电感绝缘结构（514）。6.根据权利要求5所述的基于折纸结构的MEMS电感，其特征在于，所述向上折叠节点包括第一向上折叠节点（521）、第二向上折叠节点（522）、第三向上折叠节点（523）和第四向上折叠节点（524）；所述向下折叠节点包括第一向下折叠节点（611）和第二向下折叠节点（612）。7.根据权利要求6所述的基于折纸结构的MEMS电感，其特征在于，所述折叠区绝缘结构包括第一折叠区绝缘结构（621）、第二折叠区绝缘结构（622）和第三折叠区绝缘结构（623）。8.根据权利要求7所述的基于折纸结构的MEMS电感，其特征在于，所述锚区折叠节点包括第一锚区折叠节点（81）、第二锚区折叠节点（82）、第三锚区折叠节点（83）和第四锚区折叠节点（84）。9.根据权利要求8所述的基于折纸结构的MEMS电感，其特征在于，所述第一金属电感结构（31）、第二金属电感结构（321）、第三金属电感结构（322）、第四金属电感结构（331）、第五金属电感结构（332）、第六金属电感结构（351）、第七金属电感结构（352）、第八金属电感结构（36）、第九金属电感结构（37）、第一电感绝缘结构（511）、第二电感绝缘结构（512）、第三电感绝缘结构（513）、第四电感绝缘结构（514）、第一向上折叠节点（521）、第二向上折叠节点（522）、第三向上折叠节点（523）、第四向上折叠节点（524）、第一向下折叠节点（611）、第二向下折叠节点（612）、第一折叠区绝缘结构（621）、第二折叠区绝缘结构（622）和第三折叠2