用于处理基板的支撑单元和装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115938896A(43)申请公布日2023.04.07(21)申请号202211029035.9(22)申请日2022.08.25(30)优先权数据10-2021-01121292021.08.25KR(71)申请人细美事有限公司地址韩国忠清南道(72)发明人朴太东李忠禹(74)专利代理机构北京市中伦律师事务所11410专利代理师杨黎峰魏奇(51)Int.Cl.H01J37/20(2006.01)H01J37/32(2006.01)权利要求书3页说明书15页附图20页(54)发明名称用于处理基板的支撑单元和装置(57)摘要本发明构思提供一种用于支撑基板的支撑单元。用于支撑所述基板的所述支撑单元包括：第一板；加热元件，所述加热元件设置在所述第一板处，用于控制所述基板的相应区域的温度；电力供应模块，所述电力供应模块被配置为生成具有不同频率的至少两种电力；电力线，所述电力线将由所述电力供应模块生成的电力传输到所述加热元件；以及滤波器，所述滤波器安装在所述电力线处以对供应到所述加热元件的电力选择性地进行滤波。CN115938896ACN115938896A权利要求书1/3页1.一种用于支撑基板的支撑单元，所述支撑单元包括：第一板；加热元件，所述加热元件设置在所述第一板处，用于控制所述基板的相应区域的温度；电力供应模块，所述电力供应模块被配置为生成具有不同频率的至少两种电力；电力线，所述电力线将由所述电力供应模块生成的电力传输到所述加热元件；以及滤波器，所述滤波器安装在所述电力线处，用以选择性地对供应到所述加热元件的电力进行滤波。2.根据权利要求1所述的支撑单元，其中所述加热元件被分组成多个组，每个组包括至少一个加热元件，并且所述滤波器连接到对应的加热元件组。3.根据权利要求2所述的支撑单元，其中由所述滤波器中的至少一个滤波器滤波的频率范围与由所述滤波器中的至少另一个滤波器滤波的频率范围不同。4.根据权利要求3所述的支撑单元，其中所述加热元件以M×N矩阵布置。5.根据权利要求3所述的支撑单元，其中所述加热元件中的至少第一部分设置在所述板的中心区域处，并且所述加热元件中的至少第二部分设置在所述板的边缘区域处。6.根据权利要求5所述的支撑单元，其中设置在所述板的边缘区域处的所述加热元件沿着所述板的圆周方向彼此间隔开。7.根据权利要求1至6中任一项所述的支撑单元，其中所述电力供应模块包括：电源；以及至少一个频率转换构件，所述至少一个频率转换构件连接到所述电源，并且被配置为将所述电源所生成的电力转换为具有特定频率的电力。8.根据权利要求7所述的支撑单元，其中所述电力供应模块进一步包括频率合成构件，所述频率合成构件选择性地连接到所述至少一个频率转换构件。9.根据权利要求1至6中任一项所述的支撑单元，其中所述第一板包括：绝缘层，所述加热元件埋设在所述绝缘层内；以及介电层，以静态方式夹持所述基板的电极埋设在所述介电层内，并且其中，所述支撑单元进一步包括第二板，所述第二板设置在所述介电层和所述绝缘层下方并且具有冷却流体流过的流体通道。10.根据权利要求1至6中任一项所述的支撑单元，其中所述支撑单元的所述顶表面的约50％至90％被所述加热元件占据。11.根据权利要求1至6中任一项所述的支撑单元，其中所述滤波器中的至少一部分滤波器是带通滤波器。12.一种用于支撑基板的支撑单元，所述支撑单元包括：加热元件，所述加热元件包括用于控制所述基板的第一区域的温度的第一加热元件和用于控制第二区域的温度的第二加热元件，所述第二区域与所述第一区域不同；电力供应模块，所述电力供应模块被配置为生成具有第一频率的第一电力和/或具有第二频率的第二电力；电力供应线，所述电力供应线连接到所述电力供应模块和所述加热元件；电力返回线，所述电力返回线连接到所述加热元件并接地；2CN115938896A权利要求书2/3页第一滤波器，所述第一滤波器安装在所述电力供应线处以通过所述第一电力和所述第二电力中的一者；以及第二滤波器，所述第二滤波器安装在所述电力供应线处以通过所述第一电力和所述第二电力中的另一者。13.根据权利要求12所述的支撑单元，进一步包括板，并且其中，所述板包括：介电层，所述介电层设置有静电电极；以及绝缘层，所述加热元件设置在所述绝缘层中。14.根据权利要求13所述的支撑单元，其中所述第一滤波器和所述第二滤波器设置在所述绝缘层的外部。15.根据权利要求13所述的支撑单元，其中所述绝缘层包括：第一绝缘层，所述第一绝缘层定位在所述介电层下方，并且设置有所述第一加热元件和所述第二加热元件；以及第三绝缘层，所述第三绝缘层定位在所述第一绝缘层下方，并且其中，所述电力供应线设置在所述第一绝缘层中，所述电力供应线设置在所述第三